Оригинальный полупроводниковый нагревательный элемент (OEM)

Wed, 03 Jun 2026 01:35:13 +0800

На производственном этаже отклонение температуры на 0,5°C во время soft bake или hard bake — это не мелкая погрешность. Это влияет на выход продукции. Профили фоторезиста смещаются, контроль критических размеров ухудшается, и партия сразу отправляется на доработку. Мы разработали этот OEM-элемент нагрева для полупроводников с учетом теплового бюджета литографии и обработки фоторезиста, где однородность температуры и соблюдение чистоты в чистой комнате не допускают отклонений.

Техническая суть сводится к выбору излучателя и его управлению. Коротковолновые галогеновые элементы обеспечивают быстрый, стабильный лучистый нагрев с точным спектральным контролем, что позволяет направлять энергию именно туда, где она нужна — на поверхность резиста — без перегрева подложки. По всей зоне нагрева однородность на уровне отдельного вафера удерживается в пределах ±0,1°C, а повторяемость обеспечивает стабильность заданной температуры из цикла в цикл.

ОЕМ on Online Store for Infrared Heaters

Оригинальный полупроводниковый нагревательный элемент (OEM)