На производственной линии даже незначительные колебания температуры в размере доли градуса могут нарушить параметры работы фотополимеров. Это приводит к остановке процесса, увеличению количества дефектов и снижению качества продукции до момента проверки на наличие дефектов. Мы разработали инфракрасные нагреватели, которые устраняют такую нестабильность температуры, тем самым обеспечивая стабильность процесса литографии на протяжении всего времени его выполнения.
Ядро нагревателя представляет собой излучатель кратковолнового инфракрасного света, адаптированный к свойствам поглощения света различными фотополимерами. Благодаря использованию кварцевых материалов достигается температурная однородность на уровне ±0,1°C. Нагреватель соответствует стандартным размерам, используемым в чистых комнатах класса 1–100, и обеспечивает отсутствие каких-либо выбросов частиц. На практике это означает, что параметры процесса остаются стабильными на протяжении тысяч циклов, а контроль критических размеров улучшается без необходимости постоянной корректировки температуры.
Первым преимуществом является стабильность процесса. Высокая точность контроля температуры позволяет минимизировать расхождения между отдельными слоями пленки и снижает количество бракованных изделий. Потребление энергии снижается, поскольку нагреватель быстро достигает заданной температуры и сохраняет её с минимальными отклонениями. Нагреватель рассчитан на круглосуточную работу, что снижает риски неплановых простоев и затраты на запасные части. В результате повышается производительность и предсказуемость работы производственной линии – два фактора, влияющих на прибыль компании.
Установка нагревателя на большинстве платформ происходит просто, но требует внимания к геометрическим параметрам. Перед заменой необходимо убедиться, что есть достаточно места для расположения излучателя, отражателя и датчика. Также важно, чтобы система контроля температуры могла оперативно реагировать на изменения температуры, выделяемой нагревателем. Потребуется некоторое время на настройку, чтобы параметры процесса стали максимально стабильными.