Mantendo sua sala limpa de classe 100 realmente limpa
Quando se aquecem os wafers em um ambiente de classe 100, não se pode permitir nenhum erro. Mesmo uma pequena quantidade de gases liberados ou algumas partículas estranhas podem estragar todo o processo. É frustrante. A maioria dos elementos de aquecimento padrão não é adequada para esse fim – eles liberam detritos microscópicos que estragam tudo.
É por isso que optamos por usar quartzo sintético de alta pureza em nossas lâmpadas de IR.
Por que o quartzo é importante?
Usamos sílica fundida com quase zero impurezas. Por quê? Porque, quando as temperaturas sobem, o vidro barato se degrada. Esses tubos de quartzo funcionam como uma “fortaleza”, protegendo o filamento de tungstênio da superfície do wafer. Como o material é quimicamente inerte, não há risco de acumulação de poeira, como acontece com os tubos de baixa qualidade. É a única maneira de manter o ar puro durante os ciclos de alta temperatura.
Calor efetivo na área desejada
Nossas lâmpadas emitem radiação de ondas curtas. Em vez de desperdiçar energia aquecendo o ar ao redor do wafer, o calor vai direto para a superfície dele. É rápido. Muito rápido. Isso significa que a temperatura permanece uniforme em toda a superfície do wafer.
Uma dica importante: colocamos muita potência em um espaço pequeno. Isso significa que é preciso garantir que os sistemas de resfriamento estejam funcionando corretamente. Se o fluxo de ar for insuficiente, as extremidades da lâmpada superaquecerão e queimarão. Ninguém quer lidar com isso durante o trabalho.
Como configurá-las
Criamos essas lâmpadas com conectores padrão, então elas se encaixam facilmente em suas ferramentas existentes. Não há complicações. As vedações são herméticas, então não há risco de gás halogênio vazar.
Uma dica rápida ao conectar as lâmpadas: mantenha os contatos imaculados. Qualquer oxidação nos terminais cria pontos quentes, o que pode danificar o quartzo. Além disso, certifique-se de que a faixa espectral da lâmpada corresponda ao material do wafer. Assim, você evita desperdício de energia e mantém todo o processo eficiente, sem comprometer a pureza do wafer.