Na linii produkcyjnej nawet niewielka zmiana temperatury o ułamek stopnia może zakłócić właściwości photoresistu. Wtedy produkcja się zatrzymuje, liczba cząstek wzrasta, a jakość produktu pogarsza się, zanim można przeanalizować wady. Stworzyliśmy grzejniki na podczerwień, które eliminują tę zmienność w procesie nagrzewania, dzięki czemu jakość produkcji pozostaje na założonym poziomie, zarówno w jednym, jak i w kolejnych cyklach produkcji.
Jądro grzejnika stanowi emiter krótkofalowej podczerwieni, dostosowany do właściwości absorpcji popularnych chemikaliów używanych w photoresistach. Dzięki temu uzyskuje się jednorodność temperatury na poziomie ±0,1°C, co jest możliwe dzięki konstrukcji opartej na kwarcu, która efektywnie przekazuje energię i utrzymuje stałą temperaturę. Korpus grzejnika pasuje do standardowych elementów montażowych, jest kompatybilny z warunkami panującymi w pomieszczeniach klasy Cleanroom 1–100, a także zapewnia brak jakichkolwiek odchyleń temperatury. W praktyce oznacza to, że profile nagrzewania pozostają stabilne przez tysiące cykli, a kontrola wymiarów produktu ulepsza się bez konieczności ciągłego monitorowania zmian temperatury.
Przede wszystkim uzyskujemy stabilność procesu. Precyzyjna kontrola temperatury nagrzewania skraca czas przygotowania produktu oraz zmniejsza ilość odpadów. Zużycie energii spada, ponieważ grzejnik szybko osiąga ustaloną temperaturę i utrzymuje ją z minimalnymi odchyleniami. Grzejnik jest projektowany tak, aby móc pracować 24/7, dzięki czemu redukują się koszty związane z przerwami w produkcji i koniecznością użycia części zamiennych. Rezultatem jest wyższa wydajność produkcji i przewidywalna dostępność urządzeń – dwa czynniki, które wpływają na zyski firmy.
Instalacja jest prosta na większości platform, ale geometria grzejnika jest delikatna. Przed wymianą należy sprawdzić odległości pomiędzy emiterem, reflektorem i czujnikiem, a także upewnić się, że system kontroli temperatury jest w stanie nadążyć za szybkością reakcji grzejnika. Oczekuje się krótkiego okresu regulacji, aby uzyskać najlepszą jednorodność temperatury.