Vervanging van het warmtetablet door een infraroodverwarmer

Tue, 23 Jun 2026 13:14:35 +0800

Op de productielijn kan al een kleine verandering in temperatuur van een fractie van een graad ertoe leiden dat de profilering van het fotoresistent niet meer correct is. Hierdoor stopt de productielijn, neemt het aantal deeltjes toe en daalt de productiviteit, nog voordat er controle op defecten kan worden uitgevoerd. We hebben infraroodverwarmers ontwikkeld om deze variabiliteit te elimineren, zodat de kwaliteit van de lithografie op alle shifts constant blijft.

Het hart van de verwarmers bestaat uit een kortegolfrichting infraroodemitter die is afgestemd op de absorptie van de chemische stoffen die worden gebruikt in fotoresistenten. Hierdoor wordt een thermische uniformiteit van ±0,1°C bereikt. Het quartz-gebaseerde ontwerp zorgt er bovendien voor dat energie efficiënt wordt overgedragen en dat de temperatuur nauwkeurig wordt vastgehouden. De verwarmers passen in standaard hotplate-opstellingen, zijn compatibel met cleanrooms van klasse 1–100 en zorgen er bovendien voor dat er geen deeltjes vrijkomen. In praktijk betekent dit dat de temperatuurprofielen stabiel blijven gedurende duizenden cycli, waardoor de controle op de cruciale dimensies verbetert.

Heet on Online Store for Infrared Heaters

Vervanging van het warmtetablet door een infraroodverwarmer