Aixtron warmte element vervangend onderdeel

Tue, 30 Jun 2026 01:46:53 +0800

In de Aixtron MOCVD-reactor ligt het thermische evenwicht besloten. Als het verwarmingselement begint te falen, neemt de temperatuurregulariteit af. De wafers voldoen dan niet meer aan de vereisten, de herhaalbaarheid van de productie neemt af en je moet je concentreren op het tellen van deeltjes in plaats van op de beschikbare tijd voor productie. Door een origineel Aixtron-verwarmingselement te gebruiken, kun je snel weer terugkeren naar het oorspronkelijke thermische profiel.

Wat belangrijk is onder het motortje Dit vervangingsonderdeel is ontworpen voor de thermische systemen van Aixtron-reactoren: het heeft een stabiele weerstand en een snelle respons, zodat de controle nauwkeurig blijft. De geometrie past bij de opstelling van de verwarmingselementen in de reactor, zodat het eenvoudig kan worden geïnstalleerd. De materialen zijn gekozen om een hoge temperatuurstabiliteit en minimale uitgasvorming te garanderen, zodat de reactor schoon blijft. Het resultaat is een constante temperatuurregulariteit over het oppervlak van de wafers – dit zorgt voor consistente resultaten bij het verwerken van fotoresist in lithografieprocedures en voor herhaalbare epitaxiecondities in MOCVD-procedures.

Aixtron on Online Store for Infrared Heaters

Aixtron warmte element vervangend onderdeel