Op de productielijn kan al een kleine verandering in temperatuur van een fractie van een graad ertoe leiden dat de profilering van het fotoresistent niet meer correct is. Hierdoor stopt de productielijn, neemt het aantal deeltjes toe en daalt de productiviteit, nog voordat er controle op defecten kan worden uitgevoerd. We hebben infraroodverwarmers ontwikkeld om deze variabiliteit te elimineren, zodat de kwaliteit van de lithografie op alle shifts constant blijft.
Het hart van de verwarmers bestaat uit een kortegolfrichting infraroodemitter die is afgestemd op de absorptie van de chemische stoffen die worden gebruikt in fotoresistenten. Hierdoor wordt een thermische uniformiteit van ±0,1°C bereikt. Het quartz-gebaseerde ontwerp zorgt er bovendien voor dat energie efficiënt wordt overgedragen en dat de temperatuur nauwkeurig wordt vastgehouden. De verwarmers passen in standaard hotplate-opstellingen, zijn compatibel met cleanrooms van klasse 1–100 en zorgen er bovendien voor dat er geen deeltjes vrijkomen. In praktijk betekent dit dat de temperatuurprofielen stabiel blijven gedurende duizenden cycli, waardoor de controle op de cruciale dimensies verbetert.
U hebt eerst processtabiliteit. Een grotere precisie in de temperatuur van het fotoresistent zorgt voor minder afwijkingen tussen verschillende productiesels en minder afval. De energieverbruik neemt af, omdat de verwarmers snel de gewenste temperatuur bereiken en deze nauwkeurig behouden. De betrouwbaarheid van de verwarmers is zo goed dat ze 24/7 kunnen werken. Hierdoor worden onverwachte stilstandtijden en kosten voor extra onderdelen verminderd. Het resultaat is een hogere productiviteit en betrouwbare bedrijfscontinuïteit – twee factoren die de winstgevendheid van de productielijn bevorderen.
De installatie is gemakkelijk op de meeste platformen, maar de geometrie van de apparaten is belangrijk. Zorg ervoor dat er voldoende ruimte is voor de emitter, reflector en sensor voordat u de apparaten vervangt. Verder moet uw temperatuurregelingssysteem in staat zijn om snel te reageren op de verwarmers. Er zal waarschijnlijk wat tijd nodig zijn om de apparaten goed in te stellen, zodat de verbeterde uniformiteit optimaal kan worden behouden.