http://ir-heater-online.com/ko/tags/%ED%9E%98/ Recent content in 힘 on Online Store for Infrared Heaters Hugo ko Sun, 31 May 2026 02:38:10 +0800 http://ir-heater-online.com/ko/posts/power-cable-for-fab-heater/ Sun, 31 May 2026 02:38:10 +0800 http://ir-heater-online.com/ko/posts/power-cable-for-fab-heater/ <p><img src="http://ir-heater-online.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="공장 히터용 전원 케이블"></p> <p>반도체 제조 현장에서 히터는 단순히 챔버를 가열하는 역할을 하지 않는다. 히터는 포토레지스트 소프트 베이크와 하드 베이크, 웨이퍼 세정 및 건조 공정, 그리고 온도 편차가 오버레이 오차 및 CD 바이어스로 나타나는 모든 단계의 열 기준선을 설정한다. 이 히터에 전력을 공급하는 전원 케이블의 성능이 미흡할 경우, 단순한 경고 신호가 발생하지 않는다. 온도 편차가 발생하고, 입자 급증 현상이 나타나며, 계획에 없던 가동 중단이 발생한다.</p>