http://ir-heater-online.com/ko/tags/%ED%8C%A8%EB%B8%8C/ Recent content in 패브 on Online Store for Infrared Heaters Hugo ko Fri, 05 Jun 2026 01:32:27 +0800 http://ir-heater-online.com/ko/posts/made-in-china-fab-heater-factory/ Fri, 05 Jun 2026 01:32:27 +0800 http://ir-heater-online.com/ko/posts/made-in-china-fab-heater-factory/ <p><img src="http://ir-heater-online.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="중국에서 제조된 패브 히터 공장"></p> <h1 id="리소그래피-공정">리소그래피 공정</h1> <p>리소그래피 플로어에서 소프트 베이크 중 반도체가 반도에 드리프트가 발생하면 라인 폭이 나노미터 단위로 변동할 수 있다. 하드 베이크를 너무 뜨겁게 실시하면 최종 테스트까지 결함이 생길 수 있다. 수율을 추구하고 있다면, &ldquo;따뜻한&rdquo; 것은 충분하지 않다. 웨이퍼 수준의 균일성을 유지하는 히터가 필요하다—클래스 1–100 클린룸에서 안정적으로, 변화 없이.</p> http://ir-heater-online.com/ko/posts/power-cable-for-fab-heater/ Sun, 31 May 2026 02:38:10 +0800 http://ir-heater-online.com/ko/posts/power-cable-for-fab-heater/ <p><img src="http://ir-heater-online.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="공장 히터용 전원 케이블"></p> <p>반도체 제조 현장에서 히터는 단순히 챔버를 가열하는 역할을 하지 않는다. 히터는 포토레지스트 소프트 베이크와 하드 베이크, 웨이퍼 세정 및 건조 공정, 그리고 온도 편차가 오버레이 오차 및 CD 바이어스로 나타나는 모든 단계의 열 기준선을 설정한다. 이 히터에 전력을 공급하는 전원 케이블의 성능이 미흡할 경우, 단순한 경고 신호가 발생하지 않는다. 온도 편차가 발생하고, 입자 급증 현상이 나타나며, 계획에 없던 가동 중단이 발생한다.</p>