http://ir-heater-online.com/ja/tags/mems/ Recent content in MEMS on Online Store for Infrared Heaters Hugo ja Mon, 27 Jul 2026 16:46:50 +0800 http://ir-heater-online.com/ja/posts/reducing-carbon-footprint-in-mems-wafer-drying-via-infrared-heating-systems/ Mon, 27 Jul 2026 16:46:50 +0800 http://ir-heater-online.com/ja/posts/reducing-carbon-footprint-in-mems-wafer-drying-via-infrared-heating-systems/ <p><img src="http://ir-heater-online.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="MEMSセンサーワイヤー用乾燥ヒーター"></p> <p>IR加熱を用いたMEMSセンサーワークの乾燥処理<br> MEMSの製造に携わったことがある人なら、ウェットエッチングや洗浄後の残留水分を除去するのがどれほど面倒かご存知でしょう。これは大きなボトルネックです。多くの場合、すべての部品を対流オーブンに入れて加熱しますが、それはまるでパイの一片を温めるためだけに家全体を温めているようなものです。これでは莫大なエネルギーが無駄になります。</p>