http://ir-heater-online.com/ja/tags/%E5%8A%9B/ Recent content in 力 on Online Store for Infrared Heaters Hugo ja Sun, 31 May 2026 02:38:10 +0800 http://ir-heater-online.com/ja/posts/power-cable-for-fab-heater/ Sun, 31 May 2026 02:38:10 +0800 http://ir-heater-online.com/ja/posts/power-cable-for-fab-heater/ <p><img src="http://ir-heater-online.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="ファブヒーター用電源ケーブル"></p> <p>ファブフロアにおいて、ヒーターは単にチャンバーを温めるだけではない。フォトレジストのソフトベイクおよびハードベイク、ウェーハの洗浄と乾燥、そして温度ドリフトがオーバーレイ誤差やCDバイアスとして現れるすべての工程における熱的基準を設定する。ヒーターに電力を供給するケーブルの性能が不十分であれば、警告などは発生せず、ドリフト、パーティクルの急増、予期せぬダウンタイムを引き起こす。</p>