乾燥 on Online Store for Infrared Heaters

MEMSセンサーワイヤー用乾燥ヒーター

Mon, 27 Jul 2026 16:46:50 +0800

IR加熱を用いたMEMSセンサーワークの乾燥処理
MEMSの製造に携わったことがある人なら、ウェットエッチングや洗浄後の残留水分を除去するのがどれほど面倒かご存知でしょう。これは大きなボトルネックです。多くの場合、すべての部品を対流オーブンに入れて加熱しますが、それはまるでパイの一片を温めるためだけに家全体を温めているようなものです。これでは莫大なエネルギーが無駄になります。

工場乾燥設備のエネルギー診断

Mon, 20 Jul 2026 09:16:36 +0800

乾燥ラインでの熱の無駄遣いを止めましょう。
もしウェーハ乾燥ラインに対してエネルギー審査を行ったことがあるなら、問題がどこにあるかよくわかるでしょう。それは、ランプと基板上の位置の間の隙間です。
一般的な反射器では、赤外線エネルギーがあちこちに散らばってしまいます。ウェーハに当たる代わりに、その多くの熱がチャンバーの壁に跳ね返ってしまいます。これは完全な無駄遣いです。だからこそ、私たちは金メッキされた反射器を使用するのです。

燃料電池触媒乾燥ランプ

Sat, 27 Jun 2026 01:37:17 +0800

触媒処理の工程において、15分間の加熱処理を行うと、前回のインク調整で得られた効果がすべて台無しになってしまいます。層の均一性が悪くなり、粒子数も増えてしまい、触媒層は望ましい多孔度に到達しません。私たちは、このような事態を防ぐために、この燃料電池用触媒乾燥ランプを開発しました。

重要なポイント このランプは近赤外線を利用しており、溶解剤を迅速に除去しつつも、触媒の構造を壊さないように波長が調整されています。ウェーハ全体の温度は±0.1℃以内に保たれ、設定値の再現性も±0.5℃以内です。7×24時間連続運転しても出力は安定しており、実際に5,000時間以上使用しても性能の低下は5％未満です。クリーンルーム環境も重要であり、それが内蔵されています。クラス1～100に対応し、プロセスエリア内の粒子数はゼロです。また、光学的経路が密閉されているため、ガスの漏れや汚染物質の侵入を防ぎます。