Nel processo di produzione, anche una piccolissima variazione di temperatura può far sì che i parametri del fotoresistente vadano fuori controllo. In tal caso, la linea di produzione si ferma, il numero di particelle presenti nei prodotti aumenta e il tasso di produzione diminuisce, prima ancora che sia possibile valutare eventuali difetti. Abbiamo progettato dei riscaldatori a raggi infrarossi per eliminare questa variabilità termica, così da garantire che la qualità della produzione rimanga costante, ciclo dopo ciclo.
Il nucleo del riscaldatore è costituito da un emettore a onde corte, adatto all’assorbimento delle sostanze utilizzate nei fotoresistenti. Grazie a una struttura basata sul quarzo, si ottiene una uniformità termica su livello di wafer pari a ±0,1°C; inoltre, il riscaldatore mantiene costante la temperatura con elevata precisione. Il corpo del riscaldatore è compatibile con i supporti standard per piastre riscaldate, è adatto per ambienti di tipo classe 1–100 ed è progettato per evitare qualsiasi tipo di emissione di particelle. In pratica, questo significa che i parametri di riscaldamento rimangono stabili anche dopo migliaia di cicli, migliorando così il controllo delle dimensioni critiche dei prodotti.
Si ottiene quindi una maggiore stabilità nel processo di produzione: una precisione maggiore nella temperatura di riscaldamento riduce gli errori tra le diverse linee di produzione e diminuisce gli scarti. Inoltre, l’uso di energia diminuisce, poiché il riscaldatore raggiunge rapidamente la temperatura desiderata e la mantiene con poco sovraprocesso. La affidabilità del riscaldatore è tale da permetterne il funzionamento 24/7, riducendo così i tempi di fermata imprevisti e i costi legati all’uso di ricambi di emergenza. I vantaggi sono rappresentati da un tasso di produzione più elevato e da un funzionamento più prevedibile: due fattori fondamentali per migliorare i risultati economici dello stabilimento.
L’installazione è semplice sulla maggior parte delle piattaforme, ma è necessario prestare attenzione alla geometria dell’impianto. È importante verificare che ci siano spazi sufficienti tra l’emettitore, il riflettore e il sensore prima di effettuare la sostituzione. Inoltre, è fondamentale assicurarsi che il sistema di controllo della temperatura sia in grado di tenere il passo con i tempi di risposta del riscaldatore. Si richiede un breve periodo di regolazione affinché i parametri di funzionamento del riscaldatore diventino ottimali.