Come mantenere un ambiente di tipo Class 100 pulito davvero pulito
Quando si riscaldano dei wafer in un ambiente di tipo Class 100, non si può permettere alcun errore. Anche la minima quantità di gas rilasciati o di particelle presenti nell’ambiente può compromettere la qualità del silicio ottenuto. È davvero frustrante. La maggior parte degli elementi riscaldanti tradizionali non è adatta per questo scopo: essi lasciano filtrare particelle microscopiche che rovinano tutto.
Ecco perché abbiamo deciso di utilizzare quarzo sintetico ad alta purezza per le nostre lampade a raggi infrarossi.
Perché il quarzo è importante
Utilizziamo silice fusa con quasi nessuna impurità. Perché? Perché quando i materiali vengono riscaldati, i vetri economici si deteriorano. I tubi di quarzo funzionano come delle “fortezze”, proteggendo il filamento di tungsteno dal contatto diretto con il wafer. Poiché il materiale è chimicamente inerte, non si verifica quell’effetto di “polverizzazione” che si osserva nei tubi di qualità inferiore. È l’unico modo per mantenere l’aria pura durante i cicli di riscaldamento ad alta temperatura.
Calore effettivamente efficace
Le nostre lampade emettono radiazioni a onde corte. In questo modo, il calore viene trasferito direttamente sulla superficie del wafer, senza sprecare tempo nel riscaldare l’aria circostante. È veloce… davvero veloce. E questo significa che la temperatura rimane uniforme su tutta la superficie del wafer.
Un avvertimento: mettiamo molta potenza in uno spazio ridotto. Pertanto, è necessario assicurarsi che i sistemi di raffreddamento funzionino correttamente. Se il flusso d’aria è troppo debole, le estremità della lampada si surriscalderanno e si bruceranno. Nessuno vuole affrontare questo problema durante il lavoro.
Come farle funzionare
Le abbiamo progettate con connettori standard, quindi possono essere facilmente integrate negli strumenti esistenti. Non ci sono problemi. I sigilli sono ermetici, quindi non c’è rischio che il gas alcalino fuoriesca.
Un piccolo consiglio per l’installazione: mantenete i contatti sempre puliti. Qualsiasi ossidazione sui terminali può creare punti di surriscaldamento, e questo può danneggiare il quarzo. Inoltre, assicuratevi che la gamma spettrale emessa dalla lampada sia compatibile con il materiale del wafer. In questo modo eviterete di sprecare energia e mantenterete l’integrità del processo, senza comprometterne la purezza.