फोटोरेजिस्ट बेकिंग लैंप

Sun, 21 Jun 2026 02:32:42 +0800

लिथोग्राफी प्रक्रिया में, आपको पता ही है कि क्या होता है – सॉफ्ट-बेक प्रक्रिया में थोड़ा सा भी विचलन होने से क्रिटिकल आयाम में नैनोमीटरों का अंतर आ जाता है। एक भी खराब उत्पाद बन जाने से आपको कई दिनों तक इसकी कीमत चुकानी पड़ती है।
हमने इस वास्तविकता को ध्यान में रखकर ही यह फोटोरेसिस्ट बेकिंग लैंप बनाया है – कोई जोखिम नहीं, बस वही नियंत्रण जिस पर आप भरोसा कर सकते हैं।

वास्तव में क्या महत्वपूर्ण है?
हमने क्वार्ट्ज आवरण में शॉर्ट-वेव हैलोजन एमिटर का उपयोग किया है; इससे फोटोरेसिस्ट परत को तेजी से गर्म किया जा सकता है, एवं उसे स्थिर रखा जा सकता है। बेकिंग प्रक्रिया के दौरान वेफर का तापमान ±0.1°C के भीतर ही रहता है, एवं बार-बार प्रक्रिया चलाने पर भी तापमान ±0.2°C से कम ही रहता है। सेटपॉइंट निर्धारण में 2 सेकंड से भी कम समय लगता है, एवं एक बार तापमान स्थिर हो जाने के बाद, प्रति घंटे विचलन 0.1°C से भी कम ही रहता है।
यह उपकरण क्लास 1–100 के क्लीनरूम में भी उपयोग के लिए उपयुक्त है; इसके ऑपरेशन के दौरान लगभग कोई कण ही नहीं उत्पन्न होता। इसकी ऊर्जा आवश्यकताएँ ऐसी हैं कि इसे मौजूदा उपकरणों में ही उपयोग में लाया जा सकता है, एवं इसके इंटरफेस स्टैंडर्ड कनेक्टरों के साथ मेल खाते हैं, इसलिए इसे आसानी से अपग्रेड भी किया जा सकता है।

बेकिंग on Online Store for Infrared Heaters

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