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Arrêtez de chauffer les parois de la chambre de traitement La plupart des éléments chauffants sont plutôt gênants : ils dégagent de la chaleur dans...
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Réduire les émissions de carbone dans la fabrication de semi-conducteurs : l’avantage du chauffage par ondes infrarouges
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Chauffeur de chariot pour salle propre à semi conducteurs
Maintenir les wafer au chaud : la vérité sur les chauffages à rayonnement infrarouge pour les chariots de laboratoire
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Sur le plan de fabrication, un chauffage à 90 °C n’est pas une suggestion : c’est une exigence impérative. Une variation de 2 °C peut altérer le...