متوقف کنید این فاجعه را: چگونه با پاره شدن لامپهای مربوط به فرآیند تولید ویفرها برخورد کنیم؟
باید صادقانه بگوییم که پاره شدن لامپهای مادون قرمز، واقعاً یک فاجعه است. وقتی لوله کوارتزی خراب میشود، نه تنها باعث از بین رفتن زمان کاری دستگاه میشود، بلکه تکههای شیشه و ذرات فلزی نیز روی ویفرها پخش میشوند. یک بار پارگی کافی است تا کل محصولات تولید شده بیارزش شوند. به همین دلیل، ما لامپهای ویژهای ساختیم تا از وقوع چنین فاجعههایی جلوگیری کنند.
کنترل آلودگیها
ما از کوارتز سنتتیک با خلوص بالا استفاده میکنیم؛ این ماده به اندازه کافی مقاوم است تا در برابر تغییرات دمایی سریع مقاومت کند و ترک نخورد. همچنین، لولهها را تمیز میکنیم تا هرگونه آلودگی سطحی که میتواند منجر به ایجاد ذرات شود، از بین برود.
اما راز واقعی، استفاده از درپوشهای حفاظتی است. میتوان آن را مانند یک تور حفاظتی در نظر گرفت؛ اگر عنصر گرمایشی خراب شود یا لوله در برابر گرما تحمل نکند، این درپوش تمام ذرات را در خود نگه میدارد. در نتیجه، ویفرها تمیز باقی میمانند.
مشکلات مربوط به گرما
همه ما میخواهیم زمان رسیدن دستگاه به دمای مورد نظر را کوتاه کنیم؛ اما این کار فشار زیادی بر روی سیستمهای مهر و موم کردن لولهها وارد میکند.
برای حل این مشکل، از اتصالاتی استفاده میکنیم که حتی در شرایط دمای بالا یا در حالت خلأ نیز، سیستم را در برابر نشت گاز محافظت میکنند.
یک نکته مهم: مراقب منبع تغذیه دستگاه باشید؛ تمایل به افزایش ولتاژ برای کاهش زمان کار دستگاه وجود دارد، اما این کار باعث کوتاه شدن عمر لامپ و افزایش خطر پارگی آن میشود.
تعادل بین کارایی و ایمنی
مشکل اینجاست که استفاده از درپوشهای حفاظتی، مانع از انتقال گرما به ویفرها میشود؛ در نتیجه، کارایی لامپ کمی کاهش مییابد.
اما این قیمت کوچکی است که برای داشتن آرامش ذهنی باید پرداخت شود؛ شاید لازم باشد چند تنظیمات را انجام دهید، مثلاً زمان گرم شدن دستگاه را افزایش دهید یا ارتفاع لامپ را تنظیم کنید تا دمای مناسب برای ویفرها حاصل شود.
فقط مطمئن شوید که پس از نصب درپوشهای حفاظتی، نقشه گرمایی دستگاه را دوباره بررسی کنید؛ میخواهید ویفرها به دمای مناسب برسند، بدون اینکه فریم دستگاه آسیب ببیند.