
دستیابی به گرمای بیشتر در جایی که واقعاً لازم است
هنگام ساخت سنسورهای زیستی، به گرما نیاز دارید؛ گرمای سریع و دقیقی که بتواند پلیمرها را تثبیت کند یا باعث شود لایههای شیمیایی به درستی عمل کنند. اما مشکل اینجاست که لامپهای مادون قرمز استاندارد، گرما را در همه جهات پخش میکنند؛ بنابراین بخش بزرگی از این انرژی هدر میرود.
ما راهی برای جلوگیری از این هدررفت پیدا کردیم؛ ما بازتابندههای پوشیده شده با طلا را درون بدنه لامپ قرار دادیم. به جای اینکه گرما در همه جهات پخش شود، آن را مستقیماً به سمت ویفر بازتاب میدهیم.
چرا طلا؟
ساده است؛ طلا در بازتاب نور مادون قرمز عالی عمل میکند. میتوانید از آلومینیوم نیز استفاده کنید تا هزینه کمتری صرف شود، اما آلومینیوم انرژی زیادی را جذب میکند. با استفاده از لایه نازکی از طلا، تقریباً تمام انرژی وارد شده به سیستم، به هدف مورد نظر میرسد.
این مانند استفاده از لنز بزرگنمایی است؛ شما چگالی گرمایی بالاتری روی سطح ویفر خواهید داشت، بدون اینکه نیاز به افزایش توان لامپ باشد.
اما این کار کاملاً جادویی نیست؛ مواردی وجود دارد که باید به آنها توجه کنید.
از آنجایی که انرژی بسیار متمرکز است، فرصت اشتباه کاهش مییابد. اگر ویفر کمی از مرکز خارج شود، نقاط گرم و سردی روی سطح ایجاد خواهد شد. نمیتوانید در استفاده از ابزارهای مکانیکی بیدقت باشید؛ آنها باید دقیق باشند.
همچنین، انباشت گرما نیز مشکلی است؛ از آنجایی که انرژی زیادی بازتاب میشود، الکترودهای لامپ نیز تحت فشار قرار میگیرند. اگر فنهای خنککننده را به درستی تنظیم نکنید، لامپها خیلی زود از کار خواهند افتاد.
تأثیر این روش بر فرآیند تولید
وقتی این سیستم را نصب کنید، اولین چیزی که متوجه خواهید شد، سرعت عملکرد لامپ است. شما میتوانید دمای لازم برای تثبیت پلیمرها را خیلی سریعتر به دست آورید؛ بنابراین میتوانید تعداد بیشتری ویفر را در فرآیند تولید استفاده کنید.
علاوه بر این، اتاق تمیز نیز خنکتر خواهد ماند؛ چون گرما فقط روی ویفر متمرکز میشود و وارد اتاق نمیشود. بنابراین سیستم تهویه مطبوع نیازی به کار بیشتر نخواهد داشت. شما یک فرآیند دقیقتر، یک ساختار کوچکتر، و هدررفت کمتری از انرژی خواهید داشت.