حفظ تمیزی اتاقهای کلاس ۱۰۰
وقتی که در محیط کلاس ۱۰۰، ویفرها را گرم میکنید، نمیتوانید حتی کوچکترین اشتباهی داشته باشید. حتی کمترین مقدار گاز یا ذرات ناخواسته میتواند باعث کاهش کیفیت سیلیکون تولید شده شود. این موضوع بسیار ناامیدکننده است. اکثر عناصر گرمایشی استاندارد، برای این منظور مناسب نیستند؛ زیرا آنها ذرات ریزی را آزاد میکنند که همه چیز را خراب میکنند.
به همین دلیل، ما از کوارتز سنتتیک با خلوص بالا برای لامپهای ما استفاده کردیم.
چرا کوارتز مهم است؟
ما از سیلیکا فوقالعاده پاک استفاده میکنیم؛ چرا؟ چون وقتی چیزها گرم میشوند، شیشههای ارزانقیمت تخریب میشوند. این لولههای کوارتزی مانند قلعههایی عمل میکنند و فیلامنت تنگستن را از ویفر جدا میکنند. از آنجایی که این ماده از نظر شیمیایی بیتأثیر است، دیگر نیازی به نگرانی درباره ذرات ریزی که در لولههای ارزانقیمت وجود دارد، نیست. این تنها راه برای حفظ تمیزی هوا در حین انجام فرآیندهای گرمایشی است.
گرمایی که واقعاً به ویفر میرسد
لامپهای ما، تابش موج کوتاه را هدف قرار میدهند. به جای اتلاف وقت برای گرم کردن هوای اطراف ویفر، گرما مستقیماً به سطح ویفر میرسد. این کار بسیار سریع انجام میشود؛ بنابراین دمای ویفر در سراسر سطح آن یکنواخت خواهد بود.
البته، یک نکته مهم: ما توان زیادی را در فضای کوچکی جمع کردهایم؛ بنابراین باید سیستم خنککننده لامپ را به درستی تنظیم کنید. اگر جریان هوا ضعیف باشد، انتهای لامپ دچار گرمای بیش از حد شده و خراب میشود. هیچکس نمیخواهد در میانه کار با این مشکل روبرو شود.
روش نصب لامپها
ما این لامپها را با کانکتورهای استاندارد ساختهایم؛ بنابراین میتوان آنها را به راحتی در ابزارهای موجود قرار داد. دربهای لامپها نیز کاملاً در برابر خلأ محکم هستند؛ بنابراین نیازی به نگرانی درباره نشت گاز هالوژن نیست.
یک نکته مهم دیگر: حتماً تماسهای الکتриکی لامپها را کاملاً تمیز نگه دارید. هرگونه اکسیداسیون روی تماسها، میتواند منجر به ایجاد نقاط گرم شود؛ که این موضوع میتواند کوارتز لامپ را خراب کند. همچنین، مطمئن شوید که خروجی طیفی لامپ با مواد تشکیلدهنده ویفر شما هماهنگ باشد؛ این کار باعث صرفهجویی در انرژی و حفظ کیفیت محصول میشود.