Calentador por infrarrojos como sustituto de placa caliente

Tue, 23 Jun 2026 13:14:35 +0800

En la planta de fabricación, incluso una pequeña variación en la temperatura puede desviar los parámetros del proceso de fotolitografía. La línea de producción se detiene, aumenta la cantidad de partículas presentes y disminuye el rendimiento antes incluso de que se pueda analizar la presencia de defectos. Por eso, hemos desarrollado calentadores infrarrojos que eliminan esa variabilidad térmica, permitiendo así que el proceso de litografía mantenga sus parámetros estable, ciclo tras ciclo.

El núcleo del calentador es un emisor de infrarrojos de onda corta, diseñado para ser compatible con las propiedades de absorción de los químicos utilizados en los procesos de fotolitografía. Esto permite lograr una uniformidad térmica de ±0.1°C a nivel de oblea, gracias a un diseño basado en cuarzo que permite transmitir energía de manera eficiente y mantener la temperatura con alta precisión. El cuerpo del calentador encaja en los huecos estándar de las placas calientes, es compatible con ambientes de clase 1–100, y está diseñado para evitar cualquier tipo de variación en la temperatura. En la práctica, esto significa que los parámetros de calorización permanecen estables durante miles de ciclos, y el control de las dimensiones críticas mejora sin necesidad de compensar las variaciones térmicas.

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Calentador por infrarrojos como sustituto de placa caliente