Digitaler Steuerer für Infrarot Trockner

Wed, 15 Jul 2026 10:35:39 +0800

Wie man einen Reinraum der Klasse 100 wirklich sauber hält
Wenn Sie einen Reinraum der Klasse 100 betreiben, kennen Sie sicherlich das Problem der Partikelbildung. Ein einziger kleiner Splitter aus einem Heizelement kann dazu führen, dass die gesamte Charge ruiniert wird. Die meisten herkömmlichen Widerstandsheizungen eignen sich nicht dafür – sie geben Gase ab oder zerfallen. In einem Reinraum ist das natürlich eine Katastrophe.

Deshalb verwenden wir hochreinen synthetischen Quarz-Infrarotlampen. Keine Splitter, keine Unreinheiten.

Warum Quarz funktioniert
Wir verwenden gefügten Siliziumquarz, weil er sehr widerstandsfähig ist. Er kann enorme thermische Belastungen aushalten, ohne zu reißen. Zudem gelangen keine Unreinheiten in die Luft.

Hochwirksame Wafer Trocknungsdose

Mon, 29 Jun 2026 02:58:43 +0800

Im Produktionsprozess ist die Trocknungslampe kein „nice-to-have“-Element – sie ist vielmehr eine entscheidende Komponente für die Qualität des Endprodukts. Eine Abweichung von ±0,5 °C während des Trocknungsprozesses kann dazu führen, dass die Profilparameter des Photoresists verändert werden. Das bedeutet wiederum höhere Kosten durch Ausschuss und Nachbearbeitung. Wir haben daher eine hocheffiziente Trocknungslampe entwickelt, die die Temperatur konstant hält – damit die Lithografie- und Verpackungsschritte immer innerhalb der vorgegebenen Parameter ablaufen können.

Was wirklich wichtig ist
Wir verwenden Kurzwellenhalogenquellen in einem Quarzkäfig – dieser Käfig sorgt für eine schnelle Reaktion sowie eine stabile Strahlungsleistung. Dadurch wird eine Temperaturgleichmäßigkeit auf der Waferoberfläche von ±0,1 °C erreicht. Das wiederum ermöglicht eine zuverlässige Aushärtung des Photoresists.

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Digitaler Steuerer für Infrarot Trockner

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