Trocknen on Online Store for Infrared Heaters

Heizer zum Trocknen von MEMS Sensorwafern

Mon, 27 Jul 2026 16:46:50 +0800

Trocknung von MEMS-Sensoren mit Infrarotheizung
Wenn Sie bereits in der Herstellung von MEMS-Sensoren gearbeitet haben, wissen Sie, wie schwierig es ist, überschüssige Feuchtigkeit nach dem Nassätzen oder Reinigen zu entfernen. Das ist wirklich ein echtes Problem. Die meisten Menschen werfen einfach alles in einen Konvektionsofen – doch das ist im Grunde genommen so, als würde man das ganze Haus heizen, nur um eine Pizza aufzuwärmen. Das bedeutet enorme Energieverschwendung.

Deshalb verwenden wir Kurzwellen-Infrarotlampen. Anstatt die Luft um den Wafer zu erwärmen, wird die Oberfläche direkt beheizt. Das ist eine viel effektivere Methode, um energieeffizient zu arbeiten.

Energieaudit für die Trocknungsanlage

Mon, 20 Jul 2026 09:16:36 +0800

Hören Sie auf, Energie in Ihrer Trockenlinie zu verschwenden!
Wenn Sie bereits eine Energieanalyse Ihrer Wafer-Trockenlinie durchgeführt haben, wissen Sie genau, wo das Problem liegt – nämlich in dem Abstand zwischen der Lampe und dem Substrat. Die meisten Standardreflektoren streuen die Infrarotenergie einfach überallhin. Anstatt auf das Wafer zu treffen, prallt ein großer Teil dieser Energie von den Wänden der Kammer ab. Das ist eine echte Verschwendung. Deshalb verwenden wir reflektierende Elemente mit Goldbeschichtung.

Warum Gold?
Es geht dabei um die Fähigkeit des Goldes, Infrarotlicht zu reflektieren. Gold ist besser darin, Langwellen- und Mittelwellenenergie zu reflektieren als Aluminium oder Edelstahl. Aluminium ist zwar nicht schlecht, doch es schafft es nicht mit der Hitze in der Produktionsumgebung umzugehen – es verliert dadurch seine Eigenschaften. Gold hingegen oxidiert nicht und bleibt somit konstant in seinen Eigenschaften. Das bedeutet, dass mehr Energie auf das Wafer trifft, anstatt auf die Wände.

Trocknungslampe für Brennstoffzellenkatalysatoren

Sat, 27 Jun 2026 01:37:17 +0800

In der Katalysatorherstellung ist eine 15-minütige Trocknungsphase ausreichend, um alles zunichte zu machen, was man durch die letzte Anpassung des Tintensystems erreicht hat. Die Gleichmäßigkeit der Schichtstruktur verschlechtert sich, die Anzahl der Partikel nimmt zu – und die Katalysatorschicht erreicht niemals die gewünschte Porosität. Wir haben diese Trockenungslampe für Katalysatoren entwickelt, damit das nicht passiert.

Was wirklich wichtig ist: Die Lampe arbeitet mit Infrarotlampen – mit einem Spektrum, das darauf ausgelegt ist, den Lösungsmittel schnell zu entfernen, ohne die Struktur des Katalysators zu zerstören. Auf der gesamten Fläche der Wafer bleibt die Temperatur bei ±0,1°C konstant, und die Genauigkeit der Einstellungen liegt bei ±0,5°C. Die Leistung der Lampe bleibt auch bei 7×24-Stunden-Betrieb stabil. In der Praxis haben solche Geräte bereits mehr als 5.000 Stunden gearbeitet – ohne dass es zu einer Abnahme der Leistung von mehr als 5% kommt. Die Eigenschaften, die für ein Reinraumumfeld notwendig sind, sind bereits in das Gerät integriert. Es ist kompatibel mit Klasse 1–100, es kommen keine Partikel an die Prozessgrenze, und der optische Weg ist luftdicht abgeschlossen, sodass Ausgasungen und Kontaminationen vermieden werden.