Energieaudit für die Trocknungsanlage

Mon, 20 Jul 2026 09:16:36 +0800

Hören Sie auf, Energie in Ihrer Trockenlinie zu verschwenden!
Wenn Sie bereits eine Energieanalyse Ihrer Wafer-Trockenlinie durchgeführt haben, wissen Sie genau, wo das Problem liegt – nämlich in dem Abstand zwischen der Lampe und dem Substrat. Die meisten Standardreflektoren streuen die Infrarotenergie einfach überallhin. Anstatt auf das Wafer zu treffen, prallt ein großer Teil dieser Energie von den Wänden der Kammer ab. Das ist eine echte Verschwendung. Deshalb verwenden wir reflektierende Elemente mit Goldbeschichtung.

Warum Gold?
Es geht dabei um die Fähigkeit des Goldes, Infrarotlicht zu reflektieren. Gold ist besser darin, Langwellen- und Mittelwellenenergie zu reflektieren als Aluminium oder Edelstahl. Aluminium ist zwar nicht schlecht, doch es schafft es nicht mit der Hitze in der Produktionsumgebung umzugehen – es verliert dadurch seine Eigenschaften. Gold hingegen oxidiert nicht und bleibt somit konstant in seinen Eigenschaften. Das bedeutet, dass mehr Energie auf das Wafer trifft, anstatt auf die Wände.

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