Ersetzung der Heizplatte durch Infrarotheizer

Tue, 23 Jun 2026 13:14:35 +0800

In der Fertigungshalle kann bereits eine geringe Temperaturänderung von nur einem Bruchteil eines Grades dazu führen, dass die Eigenschaften des Photoresists nicht mehr den Vorgaben entsprechen. Dadurch kommt die Produktion zum Stillstand, die Anzahl der Defekte steigt und die Ausbeute sinkt – noch bevor überhaupt eine Prüfung der Defekte durchgeführt werden kann. Wir haben spezielle Infrarotheizgeräte entwickelt, um diese Schwankungen auszugleichen. So bleibt die Qualität der Lithografie von Schicht zu Schicht konstant.

Der Kern dieser Heizgeräte besteht aus einem Kurzwellen-Infrarotemitter, der auf die Absorption der gängigen Photoresist-Substanzen abgestimmt ist. Dadurch wird eine Temperaturregelmäßigkeit auf Wafer-Ebene von ±0,1 °C erreicht. Das Design basiert auf Quarz und ermöglicht eine effiziente Energieübertragung sowie eine präzise Temperaturkontrolle. Der Heizkörper passt zu den Standards für Heizplatten in Reinräumen der Klassen 1–100 und sorgt dafür, dass es keine Temperaturschwankungen gibt. In der Praxis bedeutet das, dass sowohl die Profile für die sanfte als auch für die starke Erhitzung über Tausende von Zyklen hinweg stabil bleiben. Dadurch verbessert sich die Kontrolle über die kritischen Abmessungen – ohne dass man sich um Temperaturschwankungen kümmern muss.

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Ersetzung der Heizplatte durch Infrarotheizer