Hören Sie auf, Energie zu verschwenden: Eine bessere Methode zum Erhitzen von Wafern Bei der Verarbeitung von Wafern bedeutet Energieverschwendung im...

Auf der Fertigungsebene erwärmt ein Heizgerät nicht nur eine Kammer. Es legt die thermische Basislinie für den Softbake und Hardbake von Photoresist,...