Herstellung von Heizgehäusen aus Edelstahl

Sat, 11 Jul 2026 05:12:38 +0800

Kohlenstoffeinsparung bei Halbfertigprodukten – Alles beginnt mit der Wärmekontrolle
In der Halbleiterherstellung ist die Wärmekontrolle von entscheidender Bedeutung. Wenn wir wirklich Carbon-Neutralität erreichen wollen, müssen wir aufhören, Energie dort zu verschwenden, wo sie am meisten verloren geht. Für uns bedeutet das, dass wir uns auf die Konstruktion der Gehäuse für die Infrarotheizsysteme konzentrieren müssen. Wenn Wärme in den Reinraum gelangt, verschwenden wir im Grunde Geld – und auch Kohlenstoff.

Die richtigen Materialien sind wichtig.
Wir verwenden für diese Gehäuse Edelstahl der Sorten 304 oder 316L. Warum? Weil dieser Stoff keine Gase abgibt und nicht verbiegt, wenn es heiß wird. Im Inneren verwenden wir polierte Reflektoren, damit die Kurzwellen-Infrarotstrahlung direkt auf die Wafer gerichtet wird.

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Herstellung von Heizgehäusen aus Edelstahl