Wasserdichte Infrarotlampe zum Ausspülen

Thu, 09 Jul 2026 14:48:52 +0800

Wasserdichte Halogen-Infrarotlampen: Effizientes Trocknen von Halbleiterwafern
Bei den Reinigungsanlagen für Halbleiterwafer ist Wärme unerlässlich – und zwar schnell. Doch man darf es sich nicht leisten, Energie für die Beheizung des gesamten Raums zu verschwenden. Deshalb haben wir unsere wasserdichten Infrarotlampen speziell für diese Anwendungen entwickelt – dort, wo Zuverlässigkeit sowie Energieeinsparung entscheidend sind. Das Ziel ist eine sofortige, gezielte Wärmeabgabe, die das Substrat trocknet und die Temperatur kontrolliert – ohne dabei Energie zu verbrauchen.

Technische Details
Innen verwenden wir Kurzwellen-Halogenelemente. Sie strahlen eine starke, konzentrierte Wärme direkt auf die Oberfläche des Substrats ab. Dadurch entstehen weniger unnötige Wärmeverluste – und somit weniger Belastung für die Klimaanlage der Anlage.
Das System arbeitet mit 400 V, was eine hohe Leistung ermöglicht, ohne dass die Stromaufnahme zu hoch wird. Dadurch sind kürzere Verkabelungen erforderlich, es gibt weniger Kupferverluste – und die Lampen passen besser in enge Platzverhältnisse. Die 300-mm-Länge der Lampentube sorgt dafür, dass das Licht auf eine kleine Fläche konzentriert wird – perfekt für die Reinigungs- und Trocknungsprozesse.

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Wasserdichte Infrarotlampe zum Ausspülen