Jak udržet čistou místnost třídy 100 opravdu čistou
Když zahříváte wafery v prostředí třídy 100, nemůžete si dovolit jedinou chybu. I sebemenší množství plynů nebo několik cizorodých částic může zničit celý proces výroby křemíku. Je to frustrující. Většina běžných ohřívacích prvků prostě není určena k použití v takovém prostředí – uvolňují mikroskopické nečistoty, které všechno zkazí.
Proto jsme pro naše infračervené lampy použili syntetický křemen vysoké čistoty.
Proč je křemen důležitý
Používáme sklo s téměř nulovým obsahem nečistot. Proč? Protože při vysokých teplotách se levné sklo rozpadne. Tyto křemenné trubice fungují jako „pevnost“ – drží wolframový vlákno pryč od waferu. Jelikož je materiál chemicky inertní, nevzniká ten otravný efekt „prachu“, který se vyskytuje u levnějších trubic. To je jediný způsob, jak udržet vzduch čistý během provozu vysokoteplotních procesů.
Teplo, které opravdu dosahuje cíle
Naše lampy vysílají krátkovlnné záření. Místo plýtvání energií na zahřátí vzduchu kolem waferu, teplo působí přímo na povrch waferu. Je to rychlé – opravdu rychlé. To znamená, že teplota zůstává rovnoměrná po celém povrchu waferu.
Jedna poznámka: do malého prostoru umísťujeme velké množství wattů. To znamená, že musíte správně nastavit systém chlazení. Pokud je průtok vzduchu příliš slabý, konce lampy se přehřejí a vyhoří. Nikdo nechce mít s tím problémy uprostřed provozu.
Jak to zapnout a spustit
Vyrábíme je s standardními konektory, takže se jednoduše zastrčí do vašich stávajících nástrojů. Žádné komplikace. Uzávěry jsou vakuumově těsné, takže se nemusíte obávat úniku halogenového plynu.
Jen rychlá rada při zapojování: udržujte kontakty čisté. Jakákoli oxidace na kontaktech vytvoří „horké místo“, což může poškodit křemen.
Také se ujistěte, že spektrální vydávání lampy odpovídá materiálu vašeho waferu. Tím zabráníte plýtvání energií a udržíte celý proces efektivní, aniž by došlo ke snížení čistoty.