如何保持100级洁净室的清洁状态
在100级洁净环境中加热晶圆时，容不得半点差错。哪怕有极少量的气体泄漏或颗粒物存在，都会导致硅产品的品质下降。这实在令人沮丧。因为大多数普通加热元件根本无法满足这一要求——它们会释放出微小的碎片，从而破坏一切。
因此，我们选择使用高纯度的合成石英来制造红外线灯管。
石英的重要性
我们使用的是几乎不含杂质的熔融石英。为什么呢？因为当温度升高时，廉价玻璃就会破裂。而这种石英管则像一座堡垒一样，将钨丝与晶圆隔开。由于这种材料具有化学稳定性，所以不会出现那些由廉价灯管带来的“积尘”问题。这才是保持空气纯净的唯一方法。
高效的热传递
我们的灯管能够发出短波辐射，这样热量就能直接作用于晶圆表面，而不必浪费时间去加热周围的空气。这样一来，整个晶圆的温度就能保持均匀。
不过有一点需要注意：我们的灯管在狭小的空间内产生了大量的热量。因此，必须确保冷却系统能够正常工作。如果气流不足，灯管的末端就会过热并烧毁。没人希望在工作过程中遇到这种问题。
安装与使用
这些灯管采用了标准接口，因此可以轻松地插入现有的设备中。密封性非常好，无需担心卤素气体会泄漏出去。
在接线时，有一个小提示：请确保接触点保持干净。如果端子上有氧化现象，就会产生热点，从而导致石英管损坏。另外，还要确保灯管的光谱输出与晶圆材料相匹配。这样不仅可以避免能量浪费，还能保证整个过程的效率，同时维持极高的洁净度。