Bảo vệ các tấm wafer của bạn: Tại sao thiết kế bộ đun lại quan trọng đến vậy?
Nếu bạn đang vận hành nhà máy sản xuất chất bán dẫn với công suất cao, bạn chắc hẳn đã từng gặp phải tình huống khủng khiếp này: bóng đèn bên trong buồng chân không bị hỏng. Điều này không chỉ khiến quá trình sản xuất bị gián đoạn, mà còn gây ra nhiều hậu quả nghiêm trọng. Khi ống thạch anh bị vỡ, nó sẽ biến thành những mảnh vụn sắc nhọn, gây tổn hại cho các tấm wafer. Kết quả là toàn bộ lô sản phẩm trở thành rác thải. Thật là một tình huống tồi tệ.
Chúng tôi thiết kế các bộ đun hồng ngoại chuyên dụng để giúp bạn tránh phải đối mặt với tình huống này.
Tại sao các bóng đèn lại bị vỡ?
Nguyên nhân thường là do sốc nhiệt hoặc hiện tượng tập trung nhiệt độ quá cao. Trong môi trường chân không, không có không khí để giúp chuyển dịch nhiệt – tức là không có cơ chế làm mát bằng convection. Mọi thứ đều phụ thuộc vào việc truyền nhiệt bằng bức xạ. Nếu mật độ năng lượng quá cao, ống thạch anh sẽ bị căng và nứt. Để ngăn chặn điều này, chúng tôi sử dụng thạch anh tổng hợp có độ tinh khiết cao. Loại thạch anh này có khả năng chịu nhiệt tốt hơn và ít giãn nở hơn, vì vậy nó có thể chịu đựng được những chu kỳ nhiệt độ cao mà không bị vỡ.
Ngăn chặn các mảnh vụn trước khi chúng va vào các tấm wafer
Ngay cả với loại thạch anh tốt nhất, vẫn có thể xảy ra sự cố. Đó là lý do tại sao chúng tôi không chỉ dựa vào bóng đèn mà thôi. Chúng tôi sử dụng lớp vỏ thạch anh có độ truyền ánh sáng cao hoặc lớp bảo vệ xung quanh bộ phận đun nóng. Điều này giúp ngăn chặn các mảnh vụn. Bạn chỉ cần thay bóng đèn bị hỏng và tiếp tục quy trình sản xuất, thay vì mất hàng giờ để dọn dẹp buồng chân không.
Chúng tôi cũng chú ý đến các kết nối điện. Các kết nối lỏng lẻo có thể gây ra hiện tượng phóng điện, từ đó tạo ra những đợt nhiệt độ cao, khiến ống thạch anh bị vỡ. Chúng tôi sử dụng các kết nối được mạ vàng để đảm bảo đường dẫn điện ổn định.
Sự hy sinh cần chấp nhận
Đây là điểm cần được xem xét một cách thẳng thắn. Việc thêm các lớp bảo vệ này khiến có thêm vật liệu nằm giữa nguồn nhiệt và các tấm wafer. Do đó, khả năng truyền sóng hồng ngoại sẽ bị giảm đi một chút. Bạn có thể cần điều chỉnh thông số công suất hoặc để các tấm wafer ở trong buồng chân không thêm một thời gian nữa để đạt được nhiệt độ mong muốn. Nhưng thực ra, đó là cái giá mà chúng ta phải trả mỗi lần sử dụng thiết bị này. Việc mất đi một phần hiệu suất truyền nhiệt không đáng kể so với việc đảm bảo an toàn cho các tấm wafer của bạn.