Trên sàn lithography, sự trôi lệch nửa độ trong quá trình nướng mềm đủ để làm thay đổi chiều rộng đường dẫn của bạn theo nanomet. Nếu bạn thực hiện nướng cứng ở nhiệt độ hơi cao, bạn sẽ nướng vào những khuyết tật mà chúng sẽ hiện diện cho đến bài kiểm tra cuối. Nếu bạn đang theo đuổi năng suất, “ấm” không đủ tốt. Bạn cần một thiết bị gia nhiệt giữ độ đồng nhất ở mức wafer—ổn định, ca này qua ca khác, trong các phòng sạch Class 1–100.
Những gì quan trọng bên trong
Chúng tôi xây dựng các thiết bị gia nhiệt cho fab xung quanh các yếu tố hồng ngoại sóng ngắn và các cụm nhiệt quartz. Nhiệt độ được cung cấp nhanh chóng, giữ sạch, và bạn có thể kiểm soát nhiệt độ một cách chặt chẽ. Trên toàn bộ wafer, mục tiêu là độ đồng nhất ±0.1°C, và khả năng lặp lại giữ trong ngân sách nhiệt chặt chẽ để mỗi lần nướng giống như lần trước. Các bộ điều khiển được cali hóa theo các cửa sổ quy trình bán dẫn, và phần cứng được chỉ định để hoạt động 24/7 mà không có thời gian ngừng hoạt động bất ngờ. Việc sinh ra hạt bụi được thiết kế ra khỏi gói, và các vật liệu được chọn để chịu được chu kỳ nhiệt lặp lại mà không có hiện tượng thoát khí.
Tại sao nó hoạt động trong các quy trình thực tế
Trong quy trình xử lý photoresist, độ chính xác như vậy giúp bạn kiểm soát kích thước quan trọng ổn định và giảm thiểu số lượng lô phải làm lại. Trong đóng gói, việc gia nhiệt đồng nhất cải thiện độ bám dính và kiểm soát độ rỗng, từ đó giảm thiểu phế liệu và công việc làm lại. Lợi ích hàng ngày là giảm thiểu các mức độ chệch hướng, thời gian chu kỳ mà bạn có thể tin tưởng, và tiết kiệm thực sự về năng lượng và phụ tùng. Khi thiết bị gia nhiệt hoạt động ổn định, quy trình cũng hoạt động ổn định.
Dưới đây là những chi tiết thực tiễn
Các đơn vị này tích hợp một cách sạch sẽ vào các nền tảng công cụ hiện có, nhưng kích thước và nhu cầu giao diện khác nhau theo từng máy. Xác định điện áp, loại đầu nối và kích thước lắp đặt ngay từ đầu để bạn không phải thực hiện các thay đổi tại hiện trường. Lập kế hoạch cho một đợt chạy thử ngắn để khóa các điểm cài đặt trong các công thức nướng mềm và nướng cứng của bạn.
Một yếu tố hạn chế bạn không thể bỏ qua: thiết bị gia nhiệt phải được điều chỉnh với khối lượng nhiệt của buồng. Nếu việc ghép nối nhiệt không chính xác, độ đồng nhất sẽ bị phá vỡ—ngay cả với các yếu tố hàng đầu.