Hãy ngừng lãng phí nhiệt lượng trong quá trình sấy wafer
Nếu bạn từng tiến hành kiểm toán năng lượng cho dây chuyền sấy wafer, bạn chắc hẳn đã biết rõ nguyên nhân gây ra vấn đề này. Đó chính là khoảng cách giữa bóng đèn và bề mặt wafer.
Hầu hết các tấm phản xạ thông thường chỉ có khả năng tán xạ năng lượng hồng ngoại ra mọi hướng. Thay vì chiếu vào wafer, một lượng lớn nhiệt lượng lại bị phản xạ trở lại các bức tường của buồng sấy. Đó là sự lãng phí hoàn toàn. Đó là lý do tại sao chúng ta sử dụng các tấm phản xạ được phủ bằng vàng.
Tại sao chọn vàng?
Đó là do khả năng phản xạ ánh sáng hồng ngoại của vàng. Vàng có khả năng phản xạ tốt hơn alumin hay thép không gỉ đối với các bước sóng dài và trung bình. Alumin tuy không tồi lắm, nhưng nó kém ổn định khi tiếp xúc với nhiệt độ cao trong môi trường sản xuất. Ngược lại, vàng thì không bị oxi hóa, do đó khả năng phản xạ của nó vẫn ổn định. Điều này giúp nhiều nhiệt lượng hơn chiếu trực tiếp vào wafer, thay vì các bức tường.
Ngoài ra, chúng ta còn có thể điều chỉnh hình dạng của các tấm phản xạ để tập trung nhiệt lượng vào một điểm cụ thể. Nhờ đó, nhiệt độ trên bề mặt wafer sẽ cao hơn, mà không cần tăng công suất của bóng đèn.
Nhược điểm
Tuy nhiên, việc sử dụng vàng cũng có những hạn chế. Vàng không phải là vật liệu rẻ, vì vậy chi phí ban đầu sẽ cao hơn. Nhưng bạn nên coi đó là cách để giảm chi phí vận hành trong thời gian dài.
Một điều nữa cần lưu ý: vàng rất kén môi trường. Nếu trong môi trường sản xuất có khí thải hữu cơ hoặc hơi hóa chất, một lớp bụi mỏng sẽ hình thành trên bề mặt vàng, làm giảm khả năng phản xạ của nó. Bạn cần giữ cho chúng sạch sẽ, nếu không sẽ lãng phí tiền bạc.
Cách lắp đặt
May mắn thay, những tấm phản xạ này thường có thể thay thế trực tiếp cho các tấm phản xạ thông thường. Bạn không cần phải xây dựng lại toàn bộ hệ thống. Chỉ cần điều chỉnh vị trí tập trung nhiệt lượng sao cho nó chiếu trực tiếp vào bề mặt wafer. Như vậy, nhiệt độ trên toàn bộ bề mặt wafer sẽ đồng đều, tránh tình trạng có những điểm nóng gây biến dạng bề mặt wafer.
Khi chọn hệ thống sấy, đừng chỉ tập trung vào việc thêm nhiều bóng đèn vì nghĩ rằng cần nhiều nhiệt hơn. Điều đó chỉ gây áp lực lớn lên hệ thống điều hòa không khí mà thôi. Hãy tập trung vào hiệu quả của các tấm phản xạ, để nhiệt lượng được chiếu trực tiếp vào wafer.