اپنی توانائی کو ضائع کرنا بند کریں: ویفروں کو گرم کرنے کا بہتر طریقہ
ویفر پروسیسنگ میں، توانائی کا ضیاع دراصل ڈیزائن کی خامی ہے۔ جب ہم ایسے ہیٹر تیار کرتے ہیں، تو ہم صرف “خام حرارت” حاصل کرنے کی کوشش نہیں کرتے؛ بلکہ ہم یہ چاہتے ہیں کہ وہ روشنی کی کرنیں بالکل درست جگہ پر پہنچیں، یعنی ویفر کی سطح پر۔
مسئلہ یہ ہے کہ معمولی کوارٹز لیمپ، توانائی کو ہر سمت میں پھیلا دیتے ہیں۔ اگر آپ اس توانائی کو منعکس کرنے کا کوئی طریقہ نہیں استعمال کرتے، تو آپ کی آدھی توانائی مشین کے ڈھانچے میں ہی ضائع ہو جاتی ہے۔ یہ واقعی ایک بہت بڑا ضیاع ہے۔
سونے سے بنے عکاسی پرتوں کا استعمال
اس مسئلے کو حل کرنے کے لئے، ہم سونے سے بنی عکاسی پرتوں کا استعمال کرتے ہیں۔ سونے کا استعمال کیوں؟ کیوں کہ یہ الومینیم یا پالش شدہ اسٹیل کے مقابلے میں انفراریڈ شعاعوں کو زیادہ بہتر طریقے سے منعکس کرتا ہے۔
عکاسی پرت پر سونے کی پتلی تہہ لگانے سے، ہم انفراریڈ شعاعوں کو دوبارہ ویفر کی سطح کی طرف موڑ سکتے ہیں۔ اس طرح توانائی مرکوز ہو جاتی ہے، اور ویفر پر زیادہ حرارت پہنچتی ہے، بغیر کرنٹ کو بڑھانے کی ضرورت کے۔ یہ دراصل بکھری ہوئی حرارت کو ایک مرکوز شعاع میں تبدیل کرنے کا طریقہ ہے۔
مشکلات اور ان کا حل
زیادہ عکاسی کا مطلب یہ ہے کہ حرارت کثافت بھی زیادہ ہو جاتی ہے۔ اگر آپ سونے سے بنے نظام کے ذریعے زیادہ توانائی استعمال کرتے ہیں، تو ویفر کا درجہ حرارت تیزی سے بڑھ جاتا ہے۔
یہاں پر مشکلات پیدا ہوتی ہیں۔ آپ کو یقین کرنا ہوگا کہ آپ کے PID کنٹرولر اور کولنگ سسٹم اس کام کے لئے مناسب ہیں۔ اگر کولنگ سسٹم کمزور ہے، تو درجہ حرارت تیزی سے بڑھ جائے گا۔ میں اکثر ایسا دیکھتا ہوں کہ انجینئر سونے سے بنے عکاسی پرت استعمال کرتے ہیں، لیکن اپنے کنٹرول سسٹم کو درست کرنا بھول جاتے ہیں۔
پائیداری کے لئے
تاروں کو بھی حرارت کو برداشت کرنا ہوتا ہے۔ ہم ٹیفلون سے بنے تاروں کا استعمال کرتے ہیں، کیوں کہ جب مشین کا درجہ حرارت بہت زیادہ ہوتا ہے، تو یہ تار پگھلتے نہیں، اور کوئی گیس بھی خارج نہیں ہوتی۔ اس طرح ہر چیز مستحکم رہتی ہے۔
نتیجے کے طور پر، یہ نظام حرارت کو برداشت کرتا ہے، اور ویفر کی سطح پر یکساں حرارت فراہم کرتا ہے۔ اب کوئی سرد جگہ باقی نہیں رہتی… پوری 300 ملی میٹر کی سطح پر یکساں پروسیسنگ ممکن ہو جاتی ہے۔