کیٹالسٹ کی خشک کرنے والی لائٹس کی مدد سے، 15 منٹ کے عرصے میں پچھلی بار حاصل کیے گئے نتائج ضائع ہو جاتے ہیں۔ پرتوں کی یکسانیت ختم ہو جاتی ہے، ذرات کی تعداد بڑھ جاتی ہے، اور کیٹالسٹ کی پرت وہ مطلوبہ حالت حاصل نہیں کر پاتی۔ ہم نے اس فیول سیل کیٹالسٹ خشک کرنے والی لائٹ کو اسی مقصد کے لئے تیار کیا ہے، تاکہ ایسی صورتحال سے بچا جا سکے۔
کیا اہم ہے؟
یہ لائٹس نیئر-انفراریڈ (NIR) لائٹس پر کام کرتی ہیں، اور ان کا سپیکٹرم ایسا ہے کہ یہ رساو کو تیزی سے ختم کرتا ہے، بغیر کیٹالسٹ کی ساخت کو نقصان پہنچانے کے۔ ویفر کے پورے علاقے میں درجہ حرارت ±0.1°C کے اندر رہتا ہے، اور سیٹپوائنٹ کی درستگی ±0.5°C کے اندر رہتی ہے۔ 7×24 گھنٹے کے استعمال کے بعد بھی آؤٹ پٹ مستقل رہتا ہے؛ فیلڈ یونٹس میں 5,000 گھنٹے سے زیادہ استعمال ہو چکا ہے، اور اب بھی کم از کم 5% کی کمی ہی دیکھنے کو ملتی ہے۔ کلین روم کے ماحول کو برقرار رکھنا ایک اضافی خصوصیت نہیں، بلکہ یہ اس لائٹ کا بنیادی خصوصیت ہے۔ یہ لائٹ کلاس 1-100 کے مطابق ہے، پروسیس انٹرفیس پر کوئی ذرہ نہیں ہے، اور اس کا آپٹیکل راستہ بالکل بند ہے، جس سے گیسوں اور آلودگیوں کا داخلہ روکا جاتا ہے۔
یہ پروسیس کے لئے کیوں مناسب ہے؟
کیٹالسٹ کو تیزی سے، صاف طریقے سے، اور بار بار خشک کرنا ضروری ہے۔ NIR لائٹس بغیر کسی رابطے کے فوری حرارتی ردِعمل فراہم کرتی ہیں، اس طرح پروسیس کا وقت کم ہو جاتا ہے، جبکہ کیٹالسٹ کی ساخت برقرار رہتی ہے۔ فوٹوریزسٹ سطح پر حرارتی کنٹرول سے حرارتی عمل قابل پیشن گوئی رہتا ہے، اس طرح ہر بیچ میں ایک ہی نتیجہ حاصل ہوتا ہے۔
عملی نکات:
یہ لائٹس معیاری فٹ پرفارمنس فراہم کرتی ہیں، لیکن پیشگی ہی سبسٹریٹ کے حرارتی ماحول کی جانچ ضروری ہے۔ اگر آپ موٹے یا زیادہ حرارتی ماس والے سبسٹریٹ استعمال کر رہے ہیں، تو NIR لائٹس کی پاور ڈینسٹی اور وقت کو مناسب رکھنا ضروری ہے، تاکہ کوئی مسئلہ نہ پیش آئے۔ کلین روم کے انٹرفیس کو بھی مناسب طریقے سے منظم کرنا ضروری ہے؛ ایکسھالٹ اور شیلڈنگ کو لائٹس کی خصوصیات کے مطابق رکھنا ضروری ہے۔ پروسیس صرف اسی صورت میں بار بار کام کر سکتا ہے، جب ارد گرد کی ہوا اور ذرات کا کنٹرول مناسب ہو۔