На литографічному майданчику
Півградусний дрейф під час м’якого випікання достатній, щоб змінити вашу ширину лінії на нанометри. Якщо провести тверде випікання трохи занадто гаряче, ви закріпите дефекти, які дійдуть до фінального тестування. Якщо ви прагнете до високої врожайності, “тепло” не підходить. Вам потрібен обігрівач, який забезпечує однорідність на рівні пластини — стабільну, з зміщенням після зміщення, у чистих кімнатах класу 1–100.
Що важливо під капотом
Ми будуємо обігрівачі для фабрики на основі інфрачервоних елементів короткохвильового діапазону та кварцових теплових модулів. Тепло активується швидко, залишається чистим, і ви можете тримати температуру на короткому повідку. По всій пластині мета — однорідність ±0.1°C, а повторюваність залишається в рамках суворого теплового бюджету, щоб кожне випікання проходило так само, як і попереднє. Системи управління відкалібровані під процеси напівпровідників, а апаратура спроектована для роботи 24/7 без неочікуваних простоїв. Генерація часток усунена з конструкції, а матеріали вибрані для витримки повторних термічних циклів без вивільнення газів.
Чому це працює в реальних процесах
У процесі обробки фоторезисту така точність забезпечує стабільний контроль критичних розмірів і меншу кількість повторних партій. У пакуванні стабільний обігрів покращує адгезію та контроль порожнин, що зменшує відходи та повторні роботи. Щоденний результат — менше відхилень, цикли, на які можна покластися, і реальні заощадження на енергії та запасних частинах. Коли обігрівач працює належним чином, процес також працює.
Ось практичні деталі
Ці пристрої бездоганно інтегруються у вже існуючі платформи обладнання, але вимоги до площі та інтерфейсу різняться в залежності від машини. Визначте напругу, тип з’єднувача та розміри кріплення заздалегідь, щоб не довелося вносити польові модифікації. Сплануйте короткий пусковий цикл для фіксації заданих значень у ваших рецептах м’якого та твердого випікання.
Одне обмеження, яке не можна ігнорувати: обігрівач має бути узгоджений з тепловою масою камери. Якщо термічне з’єднання неправильно налаштоване, однорідність руйнується — навіть з елементами найвищої якості.