Чому ми використовуємо інфрачервоні відбивачі з золотим покриттям для обробки пластин
Коли ви працюєте у чистій кімнаті, метою є не просто нагріти поверхню, а досягти точності. Ви хочете, щоб кожен ват енергії потрапляв на поверхню кремнію, а не йшов на користь стінок обладнання.
Саме тут і входять у гру інфрачервоні відбивачі з золотим покриттям. Вони запобігають втратам енергії та не дозволяють температурному профілю змінюватися.
Чари золота (і чому алюміній не підходить)
Якщо використовувати звичайні алюмінієві відбивачі, значна кількість інфрачервоної енергії буде втрачена через її поглинання. Ми використовуємо золото, тому що воно найкраще відбиває середньо-інфрачервоне випромінювання назад на цільову поверхню. Додавши тонкий шар золота на корпус обладнання, можна фокусувати енергію.
Найкраще те, що можна досягти значно вищої щільності тепла на пластині, без необхідності підвищувати напругу та навантажувати систему.
Правильне регулювання температури
Дизайн таких нагрівачів полягає у правильному виборі фокусу. Завдяки золотому покриттю не виникає проблеми з „втратами енергії на краях“, яка характерна для звичайних інфрачервоних печей. Це значно полегшує досягнення однорідної температури на пластині діаметром 300 мм.
Але потрібно бути обережним із потужністю. Якщо направити занадто багато енергії на невелику площу, це може призвести до перегріву кварцового корпусу чи надмірного теплового навантаження на пластину. Я завжди раджу налаштовувати контролер PID відповідно до часу реакції золотого відбивача. Це єдиний спосіб уникнути перегріву.
Компроміси
Ці нагрівачі призначені для використання у чистих кімнатах, тож ми використовуємо матеріали, які не виділяють частинок чи газів. Але є один недолік: золото є чутливим до забруднень. Якщо на його поверхні накопичуються олії чи інші забруднення, його відбивна здатність зменшується. Тоді розподіл тепла стає нерівномірним. Не можна просто очищувати поверхню за допомогою агресивних розчинників – це може пошкодити покриття. Потрібна сувора процедура чищення, щоб зберегти точний фокус. Один подряпин на покритті вже може призвести до появи „гарячих точок“ на пластині. Це складний баланс, але результати того варті.