Wafer İşlemlerinde Neden Altın Kaplamalı Kızılötesi Yansıtıcılar Kullanılır?
Temiz oda ortamında çalışırken amacımız sadece “şeyleri ısıtmak” değildir; asıl amaç hassasiyettir. Silikon yüzeye gelen her bir watt enerjinin, ekipmanın duvarlarına zarar vermeden orada kalmasını istersiniz. İşte bu noktada altın kaplamalı kızılötesi yansıtıcılar devreye giriyor. Bunlar enerji kaybını engeller ve termal profili sabit tutar.
Altının cazibesi (ve neden alüminyum yeterli değil?)
Eğer standart alüminyum yansıtıcılar kullanırsanız, çok fazla kızılötesi enerji emilim yoluyla kaybolur. Altın ise yakın ve orta dalga boylundaki kızılötesi radyasyonu tekrar hedefe yönlendirmede en iyi malzemedir. Gövdeye ince bir altın katmanı ekleyerek enerjiyi odaklayabiliriz. En güzel yanı ise, voltajı artırmaya veya sistem üzerinde aşırı baskı oluşturmaya gerek kalmadan wafer üzerinde çok daha yüksek bir ısı yoğunluğu elde edilebilmesidir.
Tam doğru sıcaklığı elde etmek
Bu ısıtıcıların tasarımı tamamen odak noktasına dayanır. Altın kaplamalı sistemler sayesinde, basit kızılötesi fırınlarda görülen o rahatsız edici “kenar kaybı” sorunu ortadan kalkar. Böylece 300 mm’lik wafer üzerinde eşit ve düzgün bir sıcaklık elde etmek çok daha kolay hale gelir. Ancak güç konusunda dikkatli olmak gerekir. Eğer çok fazla watt enerjiyi küçük bir alana yönlendirirseniz, kuvars kabuğu aşırı ısınabilir veya wafer üzerinde aşırı termal baskı oluşabilir. Her zaman PID kontrol cihazınızı altın yansıtıcının özgül tepki süresine göre ayarlamanızı öneririm. Bu, sıcaklığın kontrol dışına çıkmasını engellemenin tek yoludur.
Tercihler ve dezavantajlar
Bu cihazlar temiz odalar için tasarlandığından, parça salmayan veya gaz çıkarmayan malzemeler kullanılır. Yani bu cihazlar temizdir. Ancak burada bir dezavantaj var: Altın hassastır. Eğer yüzeyde yağlar veya kirler birikirse yansıtma özelliği azalır. Böylece ısı dağılımı bozulur. Bu tür kirleri sert solventlerle temizlemek mümkün değildir; bu da cihazın zarar görmesine neden olur. Odak noktasını korumak için sıkı bir temizlik rutini gereklidir. Kaplamanın üzerinde küçük bir çizik bile olsa, waferlerde sıcak noktalar oluşmaya başlar. Bu oldukça hassas bir denge gerektirir, ancak elde edilen sonuçlar buna değerdir.