ในห้องผลิตชิป การอบด้วยอุณหภูมิ 90°C ไม่ใช่เพียงข้อแนะนำเท่านั้น แต่เป็นข้อกำหนดที่ห้ามละเลยโดยเด็ดขาด หากอุณหภูมิเปลี่ยนแปลงไปเพียง 2°C ก็อาจส่งผลให้โครงสร้างของฟอโตรีซิสเตอร์เปลี่ยนไป และทำให้ความหนาของเส้นที่สร้างขึ้นมีความแตกต่างกัน ซึ่งอาจทำให้ชิปที่ผลิตได้กลายเป็นของเสียไปได้ เราจึงออกแบบหลอดไฟอินฟราเรดสำหรับการใช้งานในสภาพแวดล้อมแบบนี้
สิ่งที่สำคัญทางเทคนิค
หลอดไฟเหล่านี้ใช้หลอดฮาโลเจนแบบคลื่นความยาวสั้น (SWIR) ซึ่งอยู่ภายในฉนวนควอตซ์ ทำให้พลังงานถูกส่งไปยังวัตถุที่ต้องการอบโดยตรง โดยไม่ทำให้อากาศรอบข้างร้อนขึ้นมากนัก สิ่งที่ได้รับคือการตอบสนองที่รวดเร็วและการควบคุมอุณหภูมิที่แม่นยำ บนแผ่นวัสดุขนาด 300 มม. อุณหภูมิจะอยู่ในช่วง ±0.1°C และความสามารถในการทำซ้ำจะอยู่ในช่วง 0.05°C ตลอด 24 ชั่วโมง
กฎเกณฑ์ในห้องบริสุทธิ์นั้นเป็นสิ่งที่ห้ามละเลยเด็ดขาด ดังนั้นหลอดไฟเหล่านี้จึงถูกออกแบบให้ใช้ได้ในสภาพแวดล้อมระดับ Class 1–100 เราใช้วัสดุที่มีการปล่อยก๊าซน้อย และมีระบบควบคุมอนุภาคเพื่อให้ค่าต่างๆ คงที่ ความเสถียรของหลอดไฟจะอยู่ในช่วง 2% ตลอดเวลามากกว่า 5,000 ชั่วโมง และตัวหลอดไฟมีอิน터เฟซที่สามารถติดตั้งได้กับระบบที่มีอยู่ได้เลย
เหตุผลที่มันได้ผลในที่นี่
ในกระบวนการผลิตชิป ขั้นตอนการอบจะกำหนดปริมาณสารละลายที่ใช้กับฟอโตรีซิสเตอร์ และมุมของผนังด้านข้างก่อนการถ่ายภาพ หลอดไฟอินฟราเรดของเราสามารถส่งพลังงานไปยังแผ่นวัสดุได้อย่างรวดเร็วและสม่ำเสมอ ซึ่งช่วยลดเวลาในการผลิต โดยไม่ทำให้ฟิล์มที่ใช้เสียหาย การอบแบบอ่อนหรือแบบแข็งก็สามารถทำได้ด้วยหลักการเดียวกัน ซึ่งช่วยลดการต้องทำงานซ้ำและเพิ่มอัตราการผลิตได้
การใช้พลังงานจะลดลง เพราะพลังงานจะถูกส่งไปยังจุดที่ต้องการเท่านั้น ไม่ใช่ไปที่ผนังของห้องผลิต และความน่าเชื่อถือของหลอดไฟก็ทำให้ไม่มีปัญหาในการหยุดการผลิตโดยไม่คาดคิด เช่น ไม่มีการเปลี่ยนหลอดไฟกลางกระบวนการผลิต หรือไม่มีปัญหาเกี่ยวกับค่าอุณหภูมิระหว่างการผลิตแต่ละชุด
สิ่งที่ควรทราบ
การติดตั้งหลอดไฟนั้นต้องมีการปรับแต่งรูปร่างของตัวสะท้อนแสงและระยะโฟกัสให้เหมาะสมกับเส้นทางการเคลื่อนที่ของแผ่นวัสดุ หากการปรับแต่งนี้ผิดพลาด ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิก็จะลดลง หลอดไฟมีอุณหภูมิสูง ดังนั้นจึงจำเป็นต้องมีการตรวจสอบระบบป้องกันและระบบควบคุมก่อนที่จะเริ่มการผลิต
เราสนับสนุนการใช้งานร่วมกับตัวควบคุมทั่วไป แต่โปรไฟล์การอบก็ยังต้องมีการปรับแต่งให้เหมาะสมกับสภาพแวดล้อมของแต่ละโรงงาน เมื่อมีการปรับแต่งให้เหมาะสมแล้ว หลอดไฟก็จะสามารถทำงานได้อย่างมีประสิทธิภาพตลอดกระบวนการผลิต