W procesie litografii sytuacja jest taka: nawet półstopniowa odchylenia w parametrach procesu sprawiają, że rozmiary elementów zmieniają się o nanometry. Jeden nieudany batch produktu oznacza konieczność pokrycia kosztów przez wiele dni.
Stworzyliśmy tę lampę do suszenia materiału fotoopornego właśnie z myślą o takich warunkach – bez żadnych kompromisów, tylko precyzyjna kontrola, na którą można polegać.
Co jest ważne pod względem technicznym Lampa posiada emiter halogenowy o krótkiej długości fali, umieszczony w osłonie z kwarcu. Dzięki temu warstwa materiału fotoopornego może szybko zostać podgrzana i utrzymać stabilną temperaturę. Różnica temperatur na powierzchni płytki wynosi nie więcej niż ±0,1°C, a powtarzalność procesu jest lepsza niż ±0,2°C. Czas potrzebny na osiągnięcie żądanej temperatury wynosi mniej niż 2 sekundy, a po tym czasie odchylenia temperatury pozostają poniżej 0,1°C na godzinę.
Urządzenie nadaje się do pracy w pomieszczeniach klasy 1–100. Jest tak zaprojektowane, aby podczas pracy nie wytwarzać żadnych cząstek. Moc i rozmiary urządzenia pozwalają na jego łatwe zainstalowanie w istniejących systemach suszenia. Interfejs urządzenia jest zgodny ze standardowymi złączami, więc montaż jest prosty.
Dlaczego to chroni przed problemami Ta lampa zapewnia precyzyjną kontrolę nad procesem suszenia materiału fotoopornego. Parametry procesu pozostają stałe, więc szerokość linii, kąt ścianek oraz ilość rozpuszczalników pozostają w normie. To oznacza mniej przeróbek, mniej odpadów i możliwość planowania czasu realizacji procesu. Szybkie osiągnięcie żądanej temperatury przy minimalnym przekroczeniu wartości pozwala na obniżenie zużycia energii. Długowieczność emitera zapewnia dłuższe interwały konserwacji – mniej części zamiennych i mniej nieplanowanych przerw w pracy.
Na co należy zwrócić uwagę podczas instalacji Potrzebny będzie odpowiedni sprzęt elektryczny oraz precyzyjna kalibracja optyczna, aby temperatura była utrzymywana dokładnie tam, gdzie powinna być – na płytkie. Kontrola w trybie zamkniętego obwodu wymaga również zewnętrznego czujnika temperatury na płycie suszącej. Bez niego kontrola będzie trwać w trybie otwartym. Należy przeprowadzić krótkie testy, aby ustalić rzeczywiste warunki termiczne, a potem ustawić odpowiednie parametry i kontynuować pracę.