Het beschermen van uw wafers: waarom de ontwerpwijze van de verwarmingsapparaten belangrijk is
Als u met een hoge productiecapaciteit werkt met halfgeleiders, kent u het verschrikkelijke scenario vast wel. Er breekt een lamp kapot binnenin de vacuümkamer.
Het gaat niet alleen om een stilgevallen proces. Wanneer een kwartsbuis barst, wordt deze in feite een soort glasgranaat. Er vallen brokken glas en metalen deeltjes op de wafers terecht, waardoor een hele lading onbruikbaar wordt. Het is een complete chaos.
Wij ontwerpen onze vacuüminfraroodverwarmers zodat u nooit met zulke problemen te maken hoeft te hebben.
Waarom barsten deze lampen eigenlijk?
Meestal komt dit door thermische schokken of een plek waar de hitte te hoog opstapelt. In een vacuüm is er immers geen lucht die de hitte kan wegvoeren – er is dus geen convectieve koeling. Alles hangt af van straling.
Als de hittedichtheid te groot wordt, zal de kwartsbuis breken. Om dit te voorkomen, gebruiken we synthetisch kwarts van hoge kwaliteit. Dit materiaal kan de hitte beter verdragen en zwelt minder uit. Hierdoor kan de buis het aan onder de snelle opwarm- en afkoelprocessen zonder te breken.
Het voorkomen van schade
Zelfs met het beste kwarts kan er nog steeds iets misgaan. Daarom vertrouwen we niet alleen op de lamp zelf. We plaatsen een kwartsmantel met hoge transmissie of een veiligheidskooi rondom de verwarmingscomponent. Denk hierbij aan een soort schild. Als de binnenste lamp kapotgaat, vangen de buitenste barriers de brokken op. U hoeft dan alleen maar de kapotte lamp te vervangen en verder te gaan, in plaats van urenlang de hele kamer schoon te maken.
En we zijn ook niet vergeten aan de verbindingen te denken. Losse contactpunten kunnen ervoor zorgen dat er bogen ontstaan, waardoor de temperatuur te hoog wordt en de buizen breken. We gebruiken goudkleurige contactpunten om de elektrische verbindingen stabiel te houden.
De afweging
Nu komt het eerlijke deel: het toevoegen van deze veiligheidslaag zorgt er namelijk voor dat er meer materiaal tussen de warmtebron en de wafers komt te liggen. Hierdoor neemt de IR-transmissie iets af. Mogelijk moet u de instellingen van de stroomsterkte aanpassen of de wafers wat langer laten weken om de gewenste temperatuur te bereiken.
Maar eerlijk gezegd? Het is een prijs die u elke keer moet betalen. Het verlies van een klein beetje efficiëntie is niets vergeleken met het gevoel van geruststelling dat uw productiekwaliteit gewaarborgd is.