De wafer’s warm houden: de waarheid over IR-verwarmers voor slimme karren
Als je een moderne halfgeleiderfabriek runt, weet je dat temperatuurschommelingen een groot probleem vormen. Als je wafer’s van de ene plek naar de andere moet brengen, is ‘bijna genoeg’ niet voldoende. De wafer’s moeten op een constante temperatuur blijven.
Daarom hebben we gekozen voor kortegolflengte-infraroodverwarmers voor de verwarmingsapparaten in onze schone ruimtes. Dit werkt gewoon beter.
Waarom we de oude manier hebben afgezworen
De meeste ouderwetse Verwarmer proberen eerst de lucht op te warmen. Maar lucht is een slecht geleider van warmte. Het duurt lang voordat de lucht op temperatuur is, en in een snelwerkende fabriek is dit een groot nadeel.
Infraroodverwarmers werken anders. Ze sturen energie rechtstreeks naar het doelwit. Er hoeft niet op de lucht gewacht te worden. Bovendien kunnen ze gemakkelijk worden geconnecteerd met sensoren, zodat er in real-time gegevens beschikbaar zijn. Hierdoor wordt de verwarmer een ‘slimme’ component die samenwerkt met je productielijn. Je bereikt de gewenste temperatuur sneller en deze blijft ook op peil.
Het lastige gedeelte: alles in één klein gebied onderbrengen
Het probleem is dat er in schone ruimtes weinig ruimte is. We moeten veel vermogen in een klein oppervlak onderbrengen.
Hoge-kwants IR-lampen werken snel, maar ze vereisen veel energie. Je moet ervoor zorgen dat je stroomvoorziening dit kan aan. Omdat we al deze warmte in een klein apparaat moeten stoppen, mag je de koelventilatoren niet vergeten. Als je deze overtollige warmte niet weg haalt, kunnen de elektronische componenten beschadigen.
Met de nadelen omgaan
Om de lucht schoon te houden en ongewenste uitstoot te voorkomen, gebruiken we elementen die zijn omhuld met kwarts. Deze zijn ideaal om de schone ruimte schoon te houden. Ze passen gemakkelijk op de plekken waar eerder de oude verwarmer’s stonden.
Maar er is één nadeel: kwarts is broos. Het kan geen schade verdragen. Eén ongelukkige klap tijdens onderhoud kan al leiden tot een gebroken buis en daarmee een kapotte verwarmer.
Om dit te voorkomen, plaatsen we beschermende behuizingen rondom de elementen. Zorg er alleen voor dat deze behuizingen de infraroodgolflengten niet blokkeren. Op deze manier blijven de wafer’s warm, terwijl je automatische productiestroom gewoon door kan gaan.