Mengapa kita menggunakan reflektor inframerah yang dilapisi emas untuk pemprosesan wafer
Ketika bekerja di bilik bersih, tujuannya bukan sekadar “membuat sesuatu menjadi panas”. Yang penting adalah ketepatan. Kita ingin setiap watt tenaga yang digunakan sampai ke permukaan silikon tersebut, tanpa hilang ke dinding peralatan.
Inilah fungsi reflektor inframerah yang dilapisi emas. Reflektor ini menghalang pembaziran tenaga dan memastikan suhu tetap stabil.
Kehebatan emas (dan mengapa aluminium tidak sesuai)
Jika kita menggunakan reflektor aluminium biasa, banyak tenaga inframerah akan diserap olehnya. Tenaga tersebut akan hilang begitu saja. Kita menggunakan emas kerana ia paling efektif dalam memantulkan sinar inframerah kembali ke sasaran yang dituju. Dengan menambah lapisan emas yang tipis pada permukaan peralatan, kita dapat memfokuskan tenaga tersebut dengan lebih baik.
Yang terbaik ialah kita dapat mencapai kepadatan haba yang lebih tinggi pada wafer, tanpa perlu meningkatkan voltan atau memberi tekanan berlebihan pada sistem.
Mencapai suhu yang tepat
Reka bentuk pemanas ini sangat bergantung pada titik fokusnya. Dengan penggunaan reflektor yang dilapisi emas, masalah “kehilangan tenaga di bahagian tepi” tidak akan berlaku. Ini memudahkan kita untuk mencapai suhu yang seragam pada wafer berukuran 300mm.
Namun, kita perlu berhati-hati dengan kuasa yang digunakan. Jika terlalu banyak tenaga dialirkan ke kawasan kecil, ia boleh menyebabkan wafer menjadi terlalu panas. Saya sentiasa menyarankan agar pengawal PID disesuaikan dengan masa tindak balas reflektor emas tersebut. Ini merupakan cara tunggal untuk mengelakkan suhu daripada melonjak secara berlebihan.
Kesan negatif
Reflektor ini direka khusus untuk digunakan di bilik bersih, jadi bahan yang digunakan mestilah tidak mengeluarkan zarah atau gas berbahaya. Namun, emas merupakan bahan yang sensitif. Jika ada minyak atau kotoran yang melekat pada permukaannya, reflektivitinya akan menurun. Akibatnya, pengagihan haba akan menjadi tidak seragam. Kita tidak boleh menggunakan bahan pembersih yang kuat untuk membersihkannya, kerana ia akan merosakkan reflektor tersebut. Kita perlu mempunyai prosedur pembersihan yang ketat untuk memastikan reflektor tetap berfungsi dengan baik. Sebarang kerosakan pada lapisan emas akan menyebabkan timbulnya titik panas pada wafer. Ia merupakan keseimbangan yang rumit, tetapi hasilnya sangat berbaloi.