방의 벽면을 과도하게 가열하는 것을 멈춰야 합니다.
대부분의 가열 요소들은 열을 모든 방향으로 방출합니다. 즉, 360도로 에너지가 퍼져나가서 주변의 모든 것을 가열해버립니다. 좁은 반도체 제조 공간에서는 이것이 큰 문제가 됩니다. 값비싼 내부 벽면들도 원래 처리할 수 없는 열에 의해 손상될 수 있습니다.
이는 재앙을 초래할 수 있습니다. 민감한 부품들이 손상될 위험이 있으며, 작업자들도 너무 뜨거워져서 안전하게 작업할 수 없는 기계를 다루어야 합니다.
우리는 이 문제를 다르게 해결합니다. 방향성이 있는 적외선 램프를 사용하는 것입니다.
작동 원리
일반적인 전구와 달리, 우리는 마치 손전등처럼 열을 특정한 곳으로만 보냅니다. 내부 반사판이나 특수 코팅을 사용하여 열을 웨이퍼나 기판 위로 직접 전달합니다. 그렇게 하면 전체 장비가 뜨거워지는 ‘오븐 효과’를 피할 수 있습니다. 필요한 곳에만 열이 전달되고, 벽면은 시원한 상태를 유지됩니다. 간단하지 않나요?
문제점
물론, 이 방식도 그냥 연결하기만 하면 되는 것은 아닙니다. 반사판의 설정을 정확하게 맞춰야 합니다. 초점 거리가 조금이라도 잘못되면 열이 다시 기기 내부로 새어 들어갈 수 있습니다. 솔직히 말해서, 우리는 이러한 램프와 고정밀 온도 센서를 함께 사용합니다. 우리는 기판의 실제 온도에 관심이 있습니다. 주변 공기의 온도가 아니라요.
하지만 반드시 고려해야 할 점이 있습니다. 바로 공간 문제입니다. 반사판 때문에 이러한 설비는 일반적인 가열 장비보다 더 많은 공간을 차지합니다. 또한, 열이 새어 나가는 것을 막기 위해 냉각팬을 어디에 배치할지도 신중히 결정해야 합니다.
왜 이것이 중요한가요?
벽면을 시원하게 유지하면 여러 가지 좋은 점이 있습니다. 첫째, 내부의 밀폐장치와 배선들이 덜 손상됩니다. 그렇게 되면 가동 중단 시간도 줄어들고, 긴급 수리도 줄어듭니다. 게다가, 외부 패널도 기계 근처에 서 있는 사람들에게 위험이 되지 않습니다.
하지만 가장 큰 이점은 효율성입니다. 금속 상자를 가열하는 데 낭비되는 에너지를 줄이고, 그 에너지를 제품에 집중할 수 있습니다. 그렇게 되면 HVAC 시스템도 더 효율적으로 작동하고, 작업 시간도 줄어듭니다. 그냥 더 잘 작동하는 것입니다.