क्लास 100 स्वच्छ कक्ष को वास्तव में स्वच्छ रखना
जब आप क्लास 100 वाले वातावरण में वेफरों को गर्म करते हैं, तो आपको एक भी गलती की गुंजाइश नहीं है। थोड़ी सी भी गैस या कुछ अनावश्यक कण, आपके सिलिकॉन की गुणवत्ता को बर्बाद कर सकते हैं। यह बहुत ही निराशाजनक है। अधिकांश सामान्य हीटिंग तत्व ऐसे कामों के लिए उपयुक्त नहीं हैं… क्योंकि वे सूक्ष्म कणों को बाहर छोड़ते हैं, जिससे सब कुछ बर्बाद हो जाता है।
इसीलिए हमने अपने आईआर लैंपों के लिए उच्च-शुद्धता वाला सिंथेटिक क्वार्ट्ज ही उपयोग में लाया।
क्वार्ट्ज क्यों महत्वपूर्ण है?
हम लगभग शुद्धता वाला सिलिका ही उपयोग में लाते हैं… क्योंकि जब तापमान बढ़ जाता है, तो सस्ते काँच टूट जाते हैं।
ये क्वार्ट्ज ट्यूबें एक “किले” की तरह काम करती हैं… वे टंगस्टन फिलामेंट को वेफर से अलग रखती हैं। चूँकि यह सामग्री रासायनिक रूप से निष्क्रिय है, इसलिए ऐसी समस्याएँ नहीं होतीं… जैसी कि सस्ते लैंपों में होती हैं। यही तरीका है, जिससे उच्च तापमान पर भी हवा शुद्ध रहती है।
वास्तव में प्रभावी गर्मी
हमारे लैंप छोटी तरंगदैर्घ्य वाले विकिरण का उपयोग करते हैं… इससे वेफर के आसपास की हवा गर्म होने की बजाय, गर्मी सीधे वेफर की सतह पर पहुँचती है।
यह बहुत ही तेज़ है… और इससे वेफर का तापमान समान रहता है।
एक बात ध्यान रखें… हम छोटे स्थान में ही बहुत अधिक वॉटेज डालते हैं… इसलिए आपको ठीक से कूलिंग सिस्टम व्यवस्थित करना होगा। यदि हवा का प्रवाह कम हो, तो लैंप के सिरे ओवरहीट हो जाएँगे… और लैंप खराब हो जाएगा। कोई भी ऐसी स्थिति से बचना चाहेगा।
इन लैंपों को कैसे इस्तेमाल करें?
हमने इन लैंपों को मानक कनेक्टरों के साथ ही बनाया है… इसलिए ये आपके मौजूदा उपकरणों में आसानी से फिट हो जाते हैं। सीलिंग भी बहुत ही अच्छी है… इसलिए आपको हैलोजन गैस लीक होने की चिंता नहीं करनी होगी।
एक छोटी सलाह… जब लैंपों को जोड़ रहे हों, तो संपर्क बिंदुओं को हमेशा साफ रखें… किसी भी ऑक्सीकरण से गर्मी पैदा होती है… और यह क्वार्ट्ज को नष्ट करने का कारण बन सकता है।
साथ ही, यह भी सुनिश्चित करें कि लैंप का स्पेक्ट्रल आउटपुट आपके वेफर की सामग्री के अनुरूप हो… ऐसा करने से ऊर्जा की बर्बादी नहीं होगी… और प्रक्रिया भी सुचारू रहेगी।