למה חימום אינפרא-אדום מוجه באמת חשוב עבור שבבים UHP
רוב אלמנטי החימום הם למעשה מסורבלים – הם מפיצים חום לכל הכיוונים, 360 מעלות של אנרגיה שנפלטת לכל עבר. במערכות של שבבים, זו בעיה – אנו מבזבזים המון אנרגיה על חימום הקירות הפנימיים של המכשיר, במקום על החלק עצמו. יותר מכך, המכשיר נהיה חם מאוד למגע.
אנו עושים זאת בדרך אחרת – באמצעות נורות אינפרא-אדום UHP עם טכנולוגיה מוجهת, אנו מכוונים את החום דווקא למקום שבו הוא נדרש: ישירות על הוואפר או המשטח שעליו נמצא השבב.
איך זה עובד בפועל
ניתן לחשוב על זה כעל מעבר מנורה רגילה לפנס. אנו משתמשים במחזירי אור ומעטפות קוורץ כדי למנוע את האפקט של “תנור” שבו כל המכשיר נהיה חם. במקום לחמם את האוויר ואת המעטפת המתכתית, אנרגיית האינפרא-אדום פוגעת ישירות במטרה. כך ניתן להשיג את מהירות החימום הרצויה, מבלי שהמכשיר יהיה מסוכן למי שעומד לידו.
החלק ה“נקי”
בחדר נקי, אפילו כמות קטנה של זיהום יכולה להרוס הכל. לכן אנו משתמשים בקוורץ סינתטי באיכות גבוהה. זה מבטיח ששום דבר – לא יונים מתכתיות ולא חלקיקים מוזרים – לא ידלוף במהלך תהליכי החימום האינטנסיביים. בנוסף, אנו שולטים בהספק של הנורות בצורה קפדנית, כך שהטמפרטורות יהיו אחידות בכל האזורים.
הקושי
הבעיה היא שמכיוון שהחום מרוכז כל כך, החומר שעליו אנו רוצים לחמם סובל יותר. אם הבקר PID אינו מוגדר כראוי, עלולה להיווצר טמפרטורה גבוהה מדי, או נקודות חמות שעלולות לפגוע בחומר. יש לוודא שמיקום הנורות ומערכת הקירור פועלים יחד כדי לשמור על יציבות הטמפרטורות.
שמירה על בטיחות
מניעת הספקת חום לקירות של המכשיר עוזרת לא רק לחסוך בחשבון החשמל, אלא גם לשמור על החלק החיצוני של המכשיר קר. זה מאפשר לאנשי התחזוקה לעבוד בבטחה, בלי לחשוש מכוויות. כך ניתן לנהל בקלות את כל ההיבטים התרמיים של המכשיר.