
בשלב הייבוש של הקטליזטור, זמן הייבוש של 15 דקות מבטל את כל מה שהשגנו בעקבות השינויים האחרונים בהרכב הדיו. אחידות השכבה יורדת, מספר החלקיקים עולה, ושכבת הקטליזטור אף לא מגיעה לרמת הפורוזיות הדרושה. ייצרנו את מנורת הייבוש הזו כדי למנוע את זה מלכתחילה.
מה חשוב בתהליך המנורה פועלת באמצעות אור אינפרא-אדום, כאשר הספקטרום שלו מותאם כך שיאפשר ייבוש מהיר של החומרים הממסים, מבלי לפגוע במבנה הקטליזטור. בכל שטח הוואפר, הטמפרטורה נשארת בטווח של ±0.1°C, והיציבות של הטמפרטורה נשארת בטווח של ±0.5°C. הביצועים של המנורה יציבים לאורך 7×24 שעות – המכשירים בשימוש כבר עבדו יותר מ-5,000 שעות, ועדיין יש ירידה של פחות מ-5%. התנאים בחדר הנקי אינם דבר נוסף – הם חלק בלתי נפרד מהמערכת. המנורה תואמת לסטנדרטים של רמה 1–100, אין חלקיקים במקום התהליך, והמסלול האופטי מאובטח, כך שאין חדירה של גזים או חומרים מזהמים.
למה זה מתאים לתהליך ייבוש הקטליזטור חייב להיות מהיר, נקי וחוזר על עצמו באופן עקבי. אור אינפרא-אדום מאפשר תגובה תרמית מיידית, ללא צורך במגע פיזי, כך שניתן לקצר את זמן התהליך תוך שמירה על מבנה הקטליזטור. שליטה תרמית מדויקת מאפשרת תהליך עקבי, כך שכל שלב בתהליך יהיה דומה לקודמיו.
אין צורך בהפסקות בלתי צפויות – זה נובע מעיצוב תרמי טוב, שליטה מדויקת בקצב החימום/קירור, ואורך חיי המנורה שמפחית את תדירות ההחלפה. התוצאה היא פעילות יציבה של הקטליזטור, פחות פסולת, וקצב עבודה יציב.
הערות מעשיות המנורה יכולה להתאים למקומות הסטנדרטיים, אך עדיין יש צורך לבדוק את התנאים התרמיים של החומרים שעליהם היא פועלת. אם משתמשים בחומרים עבים או בעלי מסה תרמית גבוהה, יש לשלוט בעוצמת האור ובזמן הפעולה כדי למנוע עלייה יתר בטמפרטורה.
כמו כן, יש לתכנן נכון את החיבורים בחדר הנקי – יש להתאים את מערכות הפליטה וההגנה למאפייני המנורה. התהליך יהיה עקבי רק אם תנאי האוויר ושליטת החלקיקים יהיו מתאימים.