למה אנו משתמשים במחזירי אינפרא-אדום מצופים בזהב לעיבוד שבבים
כשעובדים בחדר נקי, המטרה אינה רק לחמם את החומרים – העיקר הוא הדיוק. רוצים שכל ואט של אנרגיה יגיע לפני השבב של הסיליקון, ולא ייעלם לתוך דפנות הציוד.
זו הסיבה שאנו משתמשים במחזירי אינפרא-אדום מצופים בזהב. הם מונעים בזבוז אנרגיה ומונעים את השינויים בטמפרטורה.
הקסם של הזהב (ולמה אלומיניום אינו מתאים)
אם משתמשים במחזירים רגילים מאלומיניום, חלק גדול מהאנרגיה האינפרא-אדומה נבלע. האנרגיה פשוט נעלמת.
אנו משתמשים בזהב מכיוון שהוא הטוב ביותר בהחזרת קרינת אינפרא-אדום חזרה למקורה – על השבב. על ידי הוספת שכבה דקה של זהב על המעטפת, אנו יכולים למקד את האנרגיה.
היתרון הגדול? ניתן להשיג צפיפות חום גבוהה יותר על השבב, מבלי להגביר את המתח על המערכת.
הגעה לטמפרטורה המושלמת
עיצוב החיממים האלו קשור בעיקר לנקודת המיקוד של האנרגיה.
עם מחזירים מצופים בזהב, אין בעיות של אובדן אנרגיה בשולי השבב, כמו בתנורי אינפרא-אדום רגילים. זה מאפשר הפצה אחידה של החום על שבב בגודל 300 מ”מ.
אך יש להיות זהירים עם כמות האנרגיה – אם מכניסים יותר מדי אנרגיה לאזור קטן, עלולה להיווצר חום יתר על השבב. אני תמיד ממליץ להתאים את מערכת השליטה PID לזמן התגובה הספציפי של המחזירים המצופים בזהב. זו הדרך היחידה למנוע עלייה יתר בטמפרטורה.
השיקולים
מחזירים אלו נועדו לשימוש בחדרים נקיים, לכן אנו משתמשים בחומרים שאינם מפרישים חלקיקים או גזים. הם נקיים.
אך יש חיסרון: הזהב רגיש. אם נוצרים שמנים או לכלוכים על פני השטח, היכולת של הזהב להחזיר את האנרגיה פוחתת. כתוצאה מכך, החום מתפזר בצורה לא אחידה. אי אפשר לנקות את השטח באמצעות חומרים חזקים – זה עלול לפגוע בזהב.
יש צורך בנהלי ניקוי קפדניים כדי לשמור על הרזולוציה הגבוהה של המחזירים. כל שריטה על הציפוי עלולה לגרום להיווצרות של אזורים חמים על השבב. זו איזון עדין, אך התוצאות שוות את זה.