دیگر نیازی نیست تجهیزات خود را با حرارت بیش از حد گرم کنید؛ روش بهتری برای استفاده از حرارت مادون قرمز وجود دارد.
اگر تا به حال از دستگاههای گرمایشی با توان بالا در محیطهای نیمههادی استفاده کردهاید، میدانید که این کار چقدر دشوار است. رساندن ویفر به دمای مورد نظر، کار آسانی است؛ اما مشکل واقعی این است که چگونه جلوی گرم شدن سایر بخشهای دستگاه را بگیریم.
بیشتر لامپهای مادون قرمز، حرارت را به همه جهات پخش میکنند؛ این کار باعث هدررفت انرژی زیادی میشود، و در واقع باعث گرم شدن دیوارههای داخلی دستگاه میشود.
ما روش متفاوتی داریم؛ از لامپهای مادون قرمز جهتدار و بدون اسید اوزون استفاده میکنیم؛ این لامپها حرارت را در جای مناسب تولید میکنند.
راز گرمایش جهتدار
فکر کنید به تفاوت بین لامپهای معمولی و فلاشها؛ لامپهای معمولی فوتونها را به همه جهات پخش میکنند؛ اما این لامپهای جهتدار، از پوششهای کوارتزی یا منعکسکنندههای داخلی برای تمرکز حرارت استفاده میکنند.
این روش، مزایای زیادی دارد؛ اولاً، اپراتورها در معرض خطر سوختگی قرار نمیگیرند؛ دوماً، بدنه دستگاه نیز دچار تغییر شکل یا گرمای بیش از حد نمیشود، زیرا تحت تأثیر حرارتهای اضافی قرار نمیگیرد.
مشکل اسید اوزون
مشکل دیگر، اسید اوزون است؛ لامپهای موج کوتاه، معمولاً اشعه UV تولید میکنند که باعث تولید اسید اوزون میشود؛ در محیطهای تمیز، این موضوع بسیار مشکلساز است؛ اسید اوزون میتواند سیلهای موجود در دستگاه را از بین ببرد و فرآیندهای شیمیایی را مختل کند.
فیلترهای کوارتزی ما، این امواج UV را جذب میکنند؛ بنابراین شما فقط حرارت را دریافت میکنید، بدون اینکه گازی وجود داشته باشد.
نکاتی که باید در نظر بگیرید
نمیتوانید این لامپها را در هر دستگاهی استفاده کنید؛ زیرا حرارت بسیار متمرکز است، بنابراین سطح هدف نیز بیشتر تحت تأثیر قرار میگیرد. اگر از موادی با نقطه ذوب پایین استفاده میکنید، باید مراقب نقاط گرم باشید.
توصیه من این است که کنترلکنندهها و سنسورهای PID را طوری تنظیم کنید که فقط سطح هدف را زیر نظر داشته باشند، نه فقط هوای اطراف آن.
همچنین، لطفاً از سیمهای با تحمل حرارت بالا برای اتصالات استفاده کنید؛ هیچ چیز بدتر از بوی عایقهای ذوب شده در فضاهای تنگ وجود ندارد. اگر از توان بیش از ۲۰۰۰ وات استفاده میکنید، مطمئن شوید که فنهای خنککننده دستگاه، میتوانند جریان هوای لازم را تأمین کنند.
تهویه در اینجا یک چیز اختیاری نیست؛ بلکه ضروری است.