دیگر نیازی نیست دیوارههای محفظه را گرم کنید!
اکثر عناصر گرمایشی، منبعی از گرما هستند؛ آنها گرما را در تمام جهات پخش میکنند. وقتی که در یک محفظه نیمههادی کار میکنید، این موضوع مشکلساز میشود؛ زیرا دیوارههای داخلی محفظه، گرمایی را دریافت میکنند که قرار نبود آن را تحمل کنند.
این موضوع میتواند منجر به خرابی قطعات حساس شود؛ همچنین، اپراتورها نیز با دستگاهی روبرو میشوند که گرمای بسیار زیادی دارد و استفاده از آن خطرناک است.
ما این مشکل را به شکل دیگری حل میکنیم؛ از لامپهای مادون قرمز استفاده میکنیم.
چگونه کار میکند؟
فکر کنید که به جای لامپی که در تمام جهات نور تولید میکند، از چیزی مشابه چراغ قوه استفاده میکنیم.
با استفاده از منعکسکنندههای داخلی یا رزینهای ویژه، گرما را دقیقاً به جایی که نیاز است، یعنی مستقیماً روی ویفر یا سطح مورد نظر، هدایت میکنیم. در این صورت، از اثر «فر» جلوگیری میشود؛ یعنی کل محفظه گرم نمیشود. گرمای مورد نیاز در نقطه مورد نظر تأمین میشود، اما دیوارهها سرد باقی میمانند. خیلی ساده است.
مشکلات موجود
البته، این روش فقط «کافی است ورودی را وصل کنید» نیست؛ باید منعکسکنندهها را به درستی تنظیم کرد.
اگر فاصله کانونی کمی اشتباه باشد، گرما دوباره وارد بدنه دستگاه خواهد شد. برای جلوگیری از این مشکل، ما معمولاً از ترموکپلهای دقیق برای کنترل دما استفاده میکنیم؛ ما به دمای واقعی سطح مورد نظر اهمیت میدهیم، نه فقط دمای هوای اطراف آن.
البته، یک معایبی نیز وجود دارد؛ فضای بیشتری لازم است.
این سیستمها به دلیل وجود منعکسکنندهها، فضای بیشتری نسبت به گرمایشکنهای ساده اشغال میکنند؛ همچنین، باید محل قرارگیری فنهای خنککننده را به درستی انتخاب کرد تا گرمای اضافی را از بین ببرند.
چرا این موضوع برای پول و سلامتی شما مهم است؟
حفظ سردی دیوارهها، مزایای زیادی دارد. اولاً، مهرها و سیمهای داخلی دستگاه، کمتر خراب میشوند؛ یعنی زمان توقف کمتری داریم و تعمیرات اضطراری کمتری لازم است. همچنین، پنلهای خارجی دستگاه، خطرناک نخواهند بود.
اما مزیت اصلی، کارایی بالاتر دستگاه است؛ شما دیگر انرژی زیادی را صرف گرم کردن بدنه فلزی دستگاه نمیکنید، بلکه آن انرژی را برای تولید محصول استفاده میکنید. سیستم تهویه هوا نیز میتواند بهتر کار کند، و زمان انجام کارها نیز کاهش مییابد. در واقع، این روش بهتر عمل میکند.