En la planta de fabricación, un tratamiento térmico a 90°C no es algo opcional; es una exigencia obligatoria. Una variación de 2°C puede alterar el perfil del fotorresistente, causar variaciones en el ancho de las líneas y convertir un producto de calidad en desperdicio. Por eso, hemos diseñado nuestras lámparas de calentamiento por infrarrojos para adaptarse a estas condiciones.
Lo que realmente importa desde el punto de vista técnico Las lámparas utilizan elementos halógenos de onda corta en envoltorios de cuarzo, lo que permite que la energía se transmita directamente hacia el objetivo, con un mínimo calentamiento del aire circundante. El resultado es una respuesta rápida y un control preciso. En una oblea de 300 mm, el perfil térmico se mantiene dentro de los ±0,1°C, y la repetibilidad permanece dentro de los 0,05°C durante 24 horas.
Las normas de las salas limpias son ineludibles, por lo que las lámparas están diseñadas para funcionar en entornos de clase 1–100. Utilizamos materiales con baja emisión de gases y un proceso de montaje que evita que las partículas afecten el rendimiento de las lámparas. La estabilidad de la salida se mantiene dentro del 2% durante más de 5.000 horas. Además, el cuerpo de la lámpara cuenta con conectores eléctricos estándar, lo que facilita su instalación en los sistemas existentes.
Por qué funciona aquí En la litografía, el paso de tratamiento térmico determina la cantidad de solvente utilizado en el fotorresistente y el ángulo de los bordes antes de la exposición. Nuestras lámparas de infrarrojos transmiten calor de manera rápida y uniforme, lo que reduce el tiempo de procesamiento sin sobrecargar el fotorresistente. Tanto el tratamiento térmico “blando” como el “duro” se realizan con la misma precisión, lo que reduce la necesidad de retrabajos y mejora el rendimiento general.
El consumo de energía disminuye, ya que el calor se dirige directamente al fotorresistente, en lugar de calentar las paredes de la cámara. La fiabilidad de las lámparas significa menos paradas imprevistas: no es necesario cambiar las lámparas a mitad del proceso, ni corregir errores entre lotes diferentes.
Información importante La instalación requiere que la geometría del reflector y la distancia focal se adapten al camino seguido por la oblea. Si esa alineación no es correcta, la uniformidad del tratamiento térmico se verá afectada. Las lámparas generan mucho calor, por lo que es necesario verificar su protección y sus mecanismos de seguridad antes de utilizarlas en el proceso de fabricación.
Ofrecemos soporte para su integración con controladores comunes, pero el perfil de tratamiento térmico aún necesita un ajuste específico para cada ubicación, teniendo en cuenta la carga térmica en cada área. Si se realiza una caracterización adecuada desde el principio, las lámparas podrán mantener la calidad del proceso, lote tras lote.